公开(公告)号：CN119839426A

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN202510310177.X

申请日：2025-03-17

Applicant: 吉林大学

Inventor： 刘强 ,  张立冬 ,  于化东 ,  周晓勤 ,  郑嘉伟 ,  蔡昌烨 ,  夏征旭

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/70 ,  B23K26/402 ,  H01L21/78 ,  B28D5/04

Abstract: 本发明公开了一种透光硬脆材料晶片的差时同步连续切割装置与方法，属于透光硬脆材料晶体切割技术领域，所述切割装置包括：花岗岩底座、承载转动机构、两自由度激光切割机构、两自由度金刚石线锯切割机构和自动化控制系统，采用激光与金刚石线锯差时同步作用在透光硬脆材料晶体底部，自下而上切割透光硬脆材料晶体加工方法，合理的利用了激光切割与线锯切割的优势，形成复合运动的螺旋线加工轨迹，合理布局改质层，引导裂纹区的走向，金刚线锯线切割运转方向与透光硬脆材料晶体转动方向相反，且加工过程由外至内逐步切割，保证切割线与透光硬脆材料晶体切割位置为点接触，高效率切割透光硬脆材料晶体，提高了透光硬脆材料晶片的表面质量。