-
公开(公告)号:CN118654859A
公开(公告)日:2024-09-17
申请号:CN202410746717.4
申请日:2024-06-11
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种光致发光检测的micro‑LED检测方法、系统和电子设备,包括:1)对micro‑LED模组进行扫描,获取模组中每个芯片的位置数据;2)将激发光圈的中心定位于所需测量的单个芯片的其中一定位点,获取激发光圈区域内的PL光强数据,根据所需测量的单个芯片面积占激发光圈区域内总面积的比率计算所需测量的芯片的PL光强;3)依次移动激发光圈至所需测量的芯片的其它定位点,并重复步骤2)得到所需测量的芯片的多个PL光强,进行平均得到PL光强平均值;4)调整激发光圈大小,重复步骤2‑3)得到多个PL光强平均值,进行平均得到所需测量的芯片的PL光强数据。本发明有效分离获取单个芯片的精确数据,提高PL检测方法的精度。
-
公开(公告)号:CN119364936A
公开(公告)日:2025-01-24
申请号:CN202411481786.3
申请日:2024-10-23
Applicant: 厦门大学
IPC: H10H20/01 , H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 一种LED芯片定位挑选方法,包括:101、使用间距固定的光罩板制作LED半导体晶粒,并对制作获得的LED半导体晶粒进行参数点测获得其点测数据;102、根据点测数据确定各LED半导体晶粒所属的实际BIN段区间;103、记录各LED半导体晶粒的栅格布局情况,获得布局数据;104、分选;分选装置基于布局数据,将属于实际相同BIN段区间的LED半导体晶粒从晶圆的原位置处挑出并移动至相应的蓝膜;其中,分选装置包括多个可单独控制的吸取装置,各吸取装置之间的间隔间距与栅格间距相同,使得分选装置可根据布局数据选择性地吸取相应的LED半导体晶粒能够提高芯片生产中LED半导体晶粒的分选效率,确保了芯片的质量,而且有助于降低生产成本和提高自动化水平。
-