公开(公告)号：CN115615937A

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN202211546356.6

申请日：2022-12-05

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 高丽 ,  曹欣怡 ,  董奇奥 ,  赵慧娟 ,  肖依博

IPC: G01N21/25 ,  G01N21/59 ,  G02B1/00 ,  G03F7/00 ,  C23C16/50 ,  C23C16/24 ,  B82Y30/00 ,  B82Y20/00 ,  B82Y15/00

Abstract: 高品质因数光子晶体传感器、其制备方法及传感检测方法，结合了软纳米压印技术和刻蚀工艺，制备了厘米级高品质因数的光子晶体，同时该结构具有高分辨率、高灵敏度的优点；该方法极大地优化了工艺过程，提高生产效率，降低了工艺成本；厘米级高品质因数光子晶体传感器用于传感不同折射率溶液，实现最高灵敏度为1703nm/RIU。

公开(公告)号：CN115615937B

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211546356.6

申请日：2022-12-05

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 高丽 ,  曹欣怡 ,  董奇奥 ,  赵慧娟 ,  肖依博

IPC: G01N21/25 ,  G01N21/59 ,  G02B1/00 ,  G03F7/00 ,  C23C16/50 ,  C23C16/24 ,  B82Y30/00 ,  B82Y20/00 ,  B82Y15/00

Abstract: 高品质因数光子晶体传感器、其制备方法及传感检测方法，结合了软纳米压印技术和刻蚀工艺，制备了厘米级高品质因数的光子晶体，同时该结构具有高分辨率、高灵敏度的优点；该方法极大地优化了工艺过程，提高生产效率，降低了工艺成本；厘米级高品质因数光子晶体传感器用于传感不同折射率溶液，实现最高灵敏度为1703nm/RIU。