公开(公告)号：CN114512608B

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202210037712.5

申请日：2022-01-13

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 李雯 ,  徐潇 ,  仪明东 ,  周嘉 ,  柯蕴芯

IPC: H10K10/50 ,  H10K71/12 ,  H10K85/10

Abstract: 本发明公开了一种抑制氧气逸出的基于氧空位导电丝的阻变存储器及其制备方法，该存储器的结构由下至上依次包括基底、底电极、功能层和顶电极；其中，所述功能层由壳聚糖层和氧化铝层组成，所述壳聚糖层是将壳聚糖溶液旋涂在底电极上制备形成的薄膜，所述壳聚糖溶液为脱乙酰度≥95％的壳聚糖溶于2％的乙酸形成；所述氧化铝层是由三甲基铝和水反应生成氢氧化铝随后分解形成。本发明通过ALD法在壳聚糖层上沉积氧化铝层，抑制了壳聚糖层中在形成氧空位导电丝后，从顶电极逸出的氧气，实现了存储器件的低操作电压、高开关比，提升了稳定性，获得了可多次读写擦循环的阻变存储器器件。

公开(公告)号：CN114512608A

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202210037712.5

申请日：2022-01-13

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 李雯 ,  徐潇 ,  仪明东 ,  周嘉 ,  柯蕴芯

IPC: H01L51/30 ,  H01L51/05 ,  H01L51/40

Abstract: 本发明公开了一种抑制氧气逸出的基于氧空位导电丝的阻变存储器及其制备方法，该存储器的结构由下至上依次包括基底、底电极、功能层和顶电极；其中，所述功能层由壳聚糖层和氧化铝层组成，所述壳聚糖层是将壳聚糖溶液旋涂在底电极上制备形成的薄膜，所述壳聚糖溶液为脱乙酰度≥95％的壳聚糖溶于2％的乙酸形成；所述氧化铝层是由三甲基铝和水反应生成氢氧化铝随后分解形成。本发明通过ALD法在壳聚糖层上沉积氧化铝层，抑制了壳聚糖层中在形成氧空位导电丝后，从顶电极逸出的氧气，实现了存储器件的低操作电压、高开关比，提升了稳定性，获得了可多次读写擦循环的阻变存储器器件。