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公开(公告)号：CN105758902A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610338376.2
申请日：2016-05-20
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/223 , G01N27/227
Abstract: 本发明公开了一种基于PCB和电场边缘效应的水含量测量探头及制作方法，其水含量测量探头包括依次从上到下设置的高精度检测电容、高介电常数环氧树脂层和恒温控制结构；高精度检测电容包括正负极对状梳齿和绝缘油漆，正负极对状梳齿附着在高介电常数环氧树脂层上，并浸没在绝缘油漆中、通过绝缘油漆固定在高介电常数环氧树脂层上；正负极对状梳齿包括正电极、负电极、若干个成对的正极梳齿和负极梳齿，正极梳齿并联于正电极，负极梳齿并联于负电极，正极梳齿和负极梳齿相互交叉平面设置；正电极、负电极、正极梳齿和负极梳齿均采用PCB工艺中的印制覆铜。低成本、研发周期短、测量范围广、精度高。
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公开(公告)号：CN104155475A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410380509.3
申请日：2014-08-04
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了电容式微机械加速度计及其制造方法，属于微机械传感器的技术领域。加速度计包括：硅片基座，形成在硅片基座上的绝缘层，沉积在绝缘层上的检测电容层，以及多晶硅活动结构屏蔽层，多晶硅活动结构层通过检测电容层的支撑悬空，多晶硅活动结构屏蔽层中的质量块在加速度作用下带动支撑梁发生位移，检测电容极板之间的电场线会发生变化，由电场线变化得到的电容变化值即为测量的加速度信息。利用边缘电场效应设计的电容式微机械加速度计，在大量程下具有大灵敏度，在激励电容和外加激励电压作用下,检测电容使其具有自检功能且不会发生吸附失效。
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公开(公告)号：CN103675348A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310667119.X
申请日：2013-12-09
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了Z轴电容式微机械加速度计，属于微机械电子系统中的惯性传感器的技术领域，包括：玻璃基座，键合在玻璃基座上的扭转结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层，扭转结构层包括结构相同四个子单元，任意三个子单元相当于另一个子单元按照顺时针方向或者逆时针方向分别旋转九十度、一百八十度、二百七十度得到。本发明通过减小检测电容极板正对面积与极板间距的比值来增大微机械加速度计的灵敏度，完全对称的扭转结构层使得结构共模抑制比大，减小了输出信号的零点偏移。
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公开(公告)号：CN105842306B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201610341212.5
申请日：2016-05-20
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种水含量测量装置及测量方法，其测量装置包括依次相连的水含量测量探头、接口电路、嵌入式控制器和PWM驱动电路，还包括均与嵌入式控制器相连的电阻电压转换电路、智能交互仪器和云端接收与存储模块，PWM驱动电路和电阻电压转换电路均与水含量测量探头相连，智能交互仪器和云端接收与存储模块相连。水含量测量装置的测量灵敏度高、精度高，而且其中的恒温控制结构对称性好、易实现。本发明提供的测量方法采用多环多级控制方式的多环路两级PID智能控制算法，并引入智能互补滤波器核心，以最大程度上增强核心区温度稳定度，避免出现温度波动；实时读取数据，控制算法合理灵活，多级递进，平坦度稳定性好。
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公开(公告)号：CN105842306A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610341212.5
申请日：2016-05-20
Applicant: 南京信息工程大学
CPC classification number: G01N27/223 , G05B11/42
Abstract: 本发明公开了一种水含量测量装置及测量方法，其测量装置包括依次相连的水含量测量探头、接口电路、嵌入式控制器和PWM驱动电路，还包括均与嵌入式控制器相连的电阻电压转换电路、智能交互仪器和云端接收与存储模块，PWM驱动电路和电阻电压转换电路均与水含量测量探头相连，智能交互仪器和云端接收与存储模块相连。水含量测量装置的测量灵敏度高、精度高，而且其中的恒温控制结构对称性好、易实现。本发明提供的测量方法采用多环多级控制方式的多环路两级PID智能控制算法，并引入智能互补滤波器核心，以最大程度上增强核心区温度稳定度，避免出现温度波动；实时读取数据，控制算法合理灵活，多级递进，平坦度稳定性好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104155475B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201410380509.3
申请日：2014-08-04
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了电容式微机械加速度计及其制造方法，属于微机械传感器的技术领域。加速度计包括：硅片基座，形成在硅片基座上的绝缘层，沉积在绝缘层上的检测电容层，以及多晶硅活动结构屏蔽层，多晶硅活动结构层通过检测电容层的支撑悬空，多晶硅活动结构屏蔽层中的质量块在加速度作用下带动支撑梁发生位移，检测电容极板之间的电场线会发生变化，由电场线变化得到的电容变化值即为测量的加速度信息。利用边缘电场效应设计的电容式微机械加速度计，在大量程下具有大灵敏度，在激励电容和外加激励电压作用下,检测电容使其具有自检功能且不会发生吸附失效。
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公开(公告)号：CN103278660A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310194025.5
申请日：2013-05-22
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/097 , B81B3/00
Abstract: 本发明涉及一种差分谐振式微加速度计及其驱动方法，属于微机械传感器的技术领域。加速度计机械结构层包括两个单元。每个单元都包括第一音叉结构，两个质量块系统，质量块系统包括质量块，两根垂直梁。两个质量块系统都有一根与第一音叉结构连接的垂直梁，两根垂直梁构成第二音叉结构，第一音叉结构在X轴方向的刚度小于第二音叉结构在X轴方向的刚度，增加了结构振动稳定性，降低了灵敏度对制造误差的依赖度，抑制对称性误差。驱动方法通过控制加载在驱动电极上的电压来调节两个单元工作在不同模态，取两个单元中相同运动方向的质量块系统谐振频率实现差频输出，避免了传统驱动方式难以兼顾测量响应时间和测量带宽的缺陷。
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公开(公告)号：CN102879655A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210426733.2
申请日：2012-10-31
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01R29/12
Abstract: 本发明涉及一种振动式微机械电场传感器，一种振动式微机械电场传感器，包括基座、设置在基座上的敏感层和屏蔽层，所述屏蔽层包括活动结构、固定梳齿结构，其中活动结构包括一个中心设置有间隙的矩形质量块、设置在质量块四周的梳齿，与质量块四个端角相连接的支撑梁。本发明能利用平行板电容器加载静电来对屏蔽层中的活动结构的谐振频率进行调谐，通过振动速度信号的差分式反馈来对针对屏蔽层中的活动结构的振动阻尼进行调谐，实现振动式微机械电场传感器的常压封装，能实现大的灵敏度和提高输出信号的稳定性，解决了现存微机械电场传感器中的制造误差补偿和封装及输出信号稳定性等关键问题。
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公开(公告)号：CN115356961A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210975442.2
申请日：2022-08-15
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明公开了多场景一体化智能风机控制系统，包括多个传感器检测节点和终端控制系统，多个所述传感器检测节点与终端控制系统相连，多个所述传感器检测节点用于放置在室内不同位置以获得气体参数，多个所述传感器检测节点包括第二单片机、串口、粉尘传感器、一氧化碳传感器、二氧化碳传感器、ADC采集芯片和ZIGGBEE连接模块，所述终端控制系统包括单片机、板载ZIGGBEE模块、板载DAC电路、WIFI模块、触摸显示屏、可控硅模块和网络协调模块，所述板载ZIGGBEE模块与网络协调模块相连，本发明公开的多场景一体化智能风机控制系统具有最大可能地降低能耗，同时保障通风安全，满足建筑室内通风的功能需求的效果。
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公开(公告)号：CN103675348B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201310667119.X
申请日：2013-12-09
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了Z轴电容式微机械加速度计，属于微机械电子系统中的惯性传感器的技术领域，包括：玻璃基座，键合在玻璃基座上的扭转结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层，扭转结构层包括结构相同四个子单元，任意三个子单元相当于另一个子单元按照顺时针方向或者逆时针方向分别旋转九十度、一百八十度、二百七十度得到。本发明通过减小检测电容极板正对面积与极板间距的比值来增大微机械加速度计的灵敏度，完全对称的扭转结构层使得结构共模抑制比大，减小了输出信号的零点偏移。
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