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公开(公告)号：CN117532182A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311588115.2
申请日：2023-11-24
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供一种横向超声振动辅助超快激光对晶体改质的装置，涉及精密加工领域，包括控制系统、超声振动发生器、超声振动平台、扩束器、反射聚焦组件及与控制系统信号连接的激光器和三维移动平台，超声振动平台固定在三维移动平台上方，并与超声振动发生器信号连接，超声振动平台上方设有夹具用于固定晶体；激光器产生的激光束依次通过扩束器、反射聚焦组件聚焦到晶体的内部。本发明利用横向超声振动可以增加激光改质点的宽度，进而减少扫描次数，提高改质效率，同时横向超声振动可以促进激光诱导的微裂纹朝着超声振动方向扩展，提高后道剥片工序的效率和良率。
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公开(公告)号：CN114336279A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111562318.5
申请日：2021-12-20
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了实现表面等离激元激光输出到远场的装置，包括表面等离激元波导和金属腔；该表面等离激元波导包括依序层叠的透明衬底层、增益介质层、绝缘介质层和金属膜层；该金属腔包括第一腔镜和第二腔镜，该第一腔镜的反射镜面与表面等离激元波导垂直布置，该第二腔镜的反射镜面与表面等离激元波导相交倾斜布置。它具有如下优点：金属腔内的表面等离激元激光能通过第二腔镜的倾斜反射面高效率传输到远场，提高传输效率。
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公开(公告)号：CN117359130A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311542615.2
申请日：2023-11-17
Applicant: 华侨大学
IPC: B23K26/70 , B23K26/38 , B23K26/082 , B23K26/064
Abstract: 本发明提供了一种超声振动辅助超快激光隐形切割晶圆装置及方法，涉及精密切割技术领域。一种超声振动辅助超快激光隐形切割晶圆装置，包括：激光器、反射镜、聚焦物镜、超声振动装置以及高速三维移动平台；其中，晶片适于固定在所述超声振动装置上，所述超声振动装置设置在高速三维移动平台上以随着所述高速三维移动平台运动，所述聚焦物镜设置在所述超声振动装置上方，所述激光器适于发出的超快脉冲激光适于被所述聚焦物镜聚焦至所述超声振动装置上对晶圆进行扫描，并与所述超声振动装置配合在所述晶圆上形成若干激光改质层。通过本发明方案，大大提高了隐形切割的效率。
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公开(公告)号：CN117594422A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311541903.6
申请日：2023-11-17
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供一种扭转超声振动辅助晶锭剥片装置，涉及精密切片领域，包括超声振动平台、与超声振动平台信号连接的超声振动发生器，超声振动平台上设有夹具，用于将内部具有激光改质层的晶锭固定；夹具上端设有压板，压板用于压紧晶锭。开启超声振动发生器能够使超声振动平台产生扭转超声振动，扭转超声振动可以大大促进晶锭内部微裂纹的扩展，从而显著提高晶锭的剥片效率与良率，并且剥片过程没有废液产生，环保无污染。该发明提出的剥片方法可以适用于6‑8英寸的大尺寸晶锭的剥片，为硅、碳化硅、蓝宝石和氮化镓等晶锭的高效高质剥片提供了一种新的方法。
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公开(公告)号：CN117600685A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311777544.4
申请日：2023-12-22
Applicant: 华侨大学
IPC: B23K26/53
Abstract: 本发明公开了一种硬脆性材料晶锭超快激光快速改质的方法，将单束超快激光整形成并行排列的多束激光，然后利用多束激光并行扫描非连续改质代替单束激光逐行连续改质，通过改质区域内多光束并行扫描来提高激光改质效率，进一步通过提高非改质区域的扫描速度来提高激光改质效率，相比较传统的单束超快激光等间距连续改质，该方法激光改质时间更短，改质区域更少，非改质区域扫描速度更快，从而极大提高激光改质效率，并且非连续改质可以减少辐照在晶锭内部的总激光能量，显著降低晶锭内的热应力，提高激光改质剥片后晶圆片的面型精度。
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