一种用于在高温下抗氧化的Cr/CrN/CrAlN梯度涂层及制备方法

    公开(公告)号:CN111471969B

    公开(公告)日:2021-07-02

    申请号:CN202010194388.9

    申请日:2020-03-19

    Abstract: 本发明公开了一种用于在高温下抗氧化的Cr/CrN/CrAlN梯度涂层及制备方法,属于表面工程技术。在9‑12%Cr耐热钢表面沉积Cr/CrN/CrAlN涂层,采用Cr靶、Al靶直流反应共溅的方式获得Cr/CrN/CrAlN涂层,基片温度为150‑200℃,Ar和N2采用微电脑控制,其流量分别为5‑7SCCM(标准立方米每分钟)和6‑8SCCM,工作气压为5‑10mtorr。为提高涂层和基体的结合力,选用Cr底层,并施加100‑150V的基体负偏压。所获得的涂层底层为Cr层,中间层为CrN层,外层为CrAlN层。涂层在600‑800℃空气中氧化后的主要产物为Al2O3。高温氧化实验表明Cr/CrN/CrAlN涂层具有很好的高温抗氧化能力。应用本发明可显著提高耐热钢的高温抗氧化能力。

    一种用于在高温下抗氧化的Cr/CrN/CrAlN梯度涂层及制备方法

    公开(公告)号:CN111471969A

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN202010194388.9

    申请日:2020-03-19

    Abstract: 本发明公开了一种用于在高温下抗氧化的Cr/CrN/CrAlN梯度涂层及制备方法,属于表面工程技术。在9-12%Cr耐热钢表面沉积Cr/CrN/CrAlN涂层,采用Cr靶、Al靶直流反应共溅的方式获得Cr/CrN/CrAlN涂层,基片温度为150-200℃,Ar和N2采用微电脑控制,其流量分别为5-7SCCM(标准立方米每分钟)和6-8SCCM,工作气压为5-10mtorr。为提高涂层和基体的结合力,选用Cr底层,并施加100-150V的基体负偏压。所获得的涂层底层为Cr层,中间层为CrN层,外层为CrAlN层。涂层在600-800℃空气中氧化后的主要产物为Al2O3。高温氧化实验表明Cr/CrN/CrAlN涂层具有很好的高温抗氧化能力。应用本发明可显著提高耐热钢的高温抗氧化能力。

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