公开(公告)号：CN119742225A

公开(公告)日：2025-04-01

申请号：CN202411944219.7

申请日：2024-12-27

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张跃 ,  徐明杰 ,  张铮 ,  张先坤 ,  杨佳佳 ,  王玉南 ,  尚金森

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/683 ,  H10D30/01

Abstract: 本发明公开了一种基于可溶性牺牲层的图案化薄膜材料转移方法，属于晶体管的构筑工艺技术领域。本发明提供的方法操作简单，利用水溶液作为可溶性牺牲层的刻蚀溶液在将牺牲层刻蚀的同时保证不对最终所需的目标薄膜材料造成破坏，同时，可溶性牺牲层被刻蚀后承载有图案化薄膜材料的有机支撑层自动漂浮到水面，不需要引入额外的人为应力，转移成功率高。本发明可以通过沉积大面积均匀的可溶性牺牲层，为转移规模扩展提供有利的条件。除此之外，本发明配合低温的薄膜沉积方法，在兼顾大规模的同时还可以进行薄膜材料的图案化转移，解决了目前大规模转移图案化薄膜材料工艺成功率低、损伤严重以及无法同时满足大规模转移与图案化转移的问题。

公开(公告)号：CN106525808B

公开(公告)日：2019-11-15

申请号：CN201610836976.1

申请日：2016-09-21

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 杨佳佳 ,  杨洲 ,  邸晨晨 ,  王冬 ,  曹晖

IPC: G01N21/65 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及拉曼检测技术领域，提供了一种以聚合物为衬底的柔性表面增强拉曼基底的制备方法，包括：1、制备具有还原剂掺杂的聚合物薄膜；2、配置含有银离子的溶液，在其中加入质子酸或表面活性剂；3、将1中制备好的聚合物薄膜加入到2中制备好的溶液中进行银颗粒表面修饰；取出并晾干，得到柔性表面增强拉曼基底。本发明的有益效果为：通过聚合物与还原剂结合，使本身不具备还原性的聚合物能用于表面增强拉曼的基底，通过还原剂的作用得到聚合物表面金属层，形成以聚合物为衬底的金属纳米结构，这一过程加上添加剂进行结构的调控得到了性能优异的表面增强拉曼基底；制备方法简单，制备的表面增强拉曼基底灵敏度高、重复性好。

公开(公告)号：CN106525808A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201610836976.1

申请日：2016-09-21

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 杨佳佳 ,  杨洲 ,  邸晨晨 ,  王冬 ,  曹晖

IPC: G01N21/65 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及拉曼检测技术领域，提供了一种以聚合物为衬底的柔性表面增强拉曼基底的制备方法，包括：1、制备具有还原剂掺杂的聚合物薄膜；2、配置含有银离子的溶液，在其中加入质子酸或表面活性剂；3、将1中制备好的聚合物薄膜加入到2中制备好的溶液中进行银颗粒表面修饰；取出并晾干，得到柔性表面增强拉曼基底。本发明的有益效果为：通过聚合物与还原剂结合，使本身不具备还原性的聚合物能用于表面增强拉曼的基底，通过还原剂的作用得到聚合物表面金属层，形成以聚合物为衬底的金属纳米结构，这一过程加上添加剂进行结构的调控得到了性能优异的表面增强拉曼基底；制备方法简单，制备的表面增强拉曼基底灵敏度高、重复性好。