-
公开(公告)号：CN116504609B
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310769716.7
申请日：2023-06-28
Applicant: 北京无线电测量研究所
IPC: H01L21/02 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种翘曲晶圆应力消除方法，包括如下步骤：在室温下对翘曲晶圆进行曲率测试得到晶圆的翘曲度；根据晶圆的翘曲度选择粘附层和应力层的种类；在晶圆的背面依次形成粘附层和应力层，使得粘附层和应力层形成的应力与晶圆的应力平衡，从而使室温下的晶圆表面平整；器件工艺完成后，对粘附层和应力层进行第一段温度下的加热，所述第一段温度为25℃～75℃，然后对粘附层和应力层进行第二段温度下的加热，所述第二段温度为‑55℃～10℃，使粘附层和应力层从晶圆背面剥离，并使晶圆背面出现断裂，从而消除晶圆内部的应力。本发明能够消除晶圆翘曲对器件工艺的不利影响，并且能够消除翘曲晶圆内部的应力，防止碎片风险。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115498034B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202211118526.0
申请日：2022-09-13
Applicant: 北京无线电测量研究所
IPC: H01L29/778 , H01L29/40 , H01L21/335
Abstract: 本发明实施例公开了一种GaN HEMT器件及其制备方法。在一具体实施方式中，包括缓冲层；在缓冲层上方形成的GaN沟道层；在GaN沟道层上方形成的势垒层；在势垒层上方形成的栅极、源极和漏极；第一钝化层，其形成在栅极和漏极之间的区域以及栅极和源极之间的区域中；以及栅极场板，其电连接到栅极并形成在第一钝化层上方，该栅极场板上形成有图形化开孔。该实施方式通过图形化的场板结构，直接控制场板产生电场的强度大小、强度的均匀性和面积大小，能够平均峰值电场；同时也可以最大面积上抑制虚栅形成，有利于器件更稳定工作；而且可以有效提升场板金属的制程良率，也可以降低贵金属的使用量，降低生产成本。
-
公开(公告)号：CN116504609A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310769716.7
申请日：2023-06-28
Applicant: 北京无线电测量研究所
IPC: H01L21/02 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种翘曲晶圆应力消除方法，包括如下步骤：在室温下对翘曲晶圆进行曲率测试得到晶圆的翘曲度；根据晶圆的翘曲度选择粘附层和应力层的种类；在晶圆的背面依次形成粘附层和应力层，使得粘附层和应力层形成的应力与晶圆的应力平衡，从而使室温下的晶圆表面平整；器件工艺完成后，对粘附层和应力层进行第一段温度下的加热，所述第一段温度为25℃～75℃，然后对粘附层和应力层进行第二段温度下的加热，所述第二段温度为‑55℃～10℃，使粘附层和应力层从晶圆背面剥离，并使晶圆背面出现断裂，从而消除晶圆内部的应力。本发明能够消除晶圆翘曲对器件工艺的不利影响，并且能够消除翘曲晶圆内部的应力，防止碎片风险。
-
公开(公告)号：CN115922589A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211307003.0
申请日：2022-10-24
Applicant: 北京无线电测量研究所
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明提供一种真空吸笔及其使用方法，该真空吸笔包括笔杆；以及与笔杆可转动连接的笔头；所述真空吸笔还包括用以带动笔头绕笔杆轴线转动的传动结构；所述传动结构包括配置于笔杆上的第一锥齿轮以及同轴套设于笔头上的第二锥齿轮；所述第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合；所述第一锥齿轮被配置为可在外力驱动下绕自身轴线转动，从而带动第二锥齿轮和笔头转动；所述第一锥齿轮的转动轴线与笔头的转动轴线相垂直。该真空吸笔调节方便，操作简单，能够提高工作效率。
-
公开(公告)号：CN115498034A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202211118526.0
申请日：2022-09-13
Applicant: 北京无线电测量研究所
IPC: H01L29/778 , H01L29/40 , H01L21/335
Abstract: 本发明实施例公开了一种GaN HEMT器件及其制备方法。在一具体实施方式中，包括缓冲层；在缓冲层上方形成的GaN沟道层；在GaN沟道层上方形成的势垒层；在势垒层上方形成的栅极、源极和漏极；第一钝化层，其形成在栅极和漏极之间的区域以及栅极和源极之间的区域中；以及栅极场板，其电连接到栅极并形成在第一钝化层上方，该栅极场板上形成有图形化开孔。该实施方式通过图形化的场板结构，直接控制场板产生电场的强度大小、强度的均匀性和面积大小，能够平均峰值电场；同时也可以最大面积上抑制虚栅形成，有利于器件更稳定工作；而且可以有效提升场板金属的制程良率，也可以降低贵金属的使用量，降低生产成本。
-
公开(公告)号：CN220631427U
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202321925614.1
申请日：2023-07-20
Applicant: 北京无线电测量研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种洁净室电脑台架，包括：显示器支架、横梁、支架腿、安装底板、键盘支架、鼠标支架，显示器支架为一对L型结构，用于固定显示器；显示器支架装配在横梁上，横梁上设置有卡槽，显示器支架的一对L型结构能够在卡槽上左右滑动；横梁的底部以相对于垂直方向10‑25度的倾角焊接在支架腿上，从而使装配在横梁上的一对L型结构在垂直方向上有10‑25度倾角；支架腿垂直焊接在安装底板上，安装底板安装在洁净室地板上；键盘支架焊接在支架腿上，用于放置键盘，键盘支架的外侧向上折起；鼠标支架焊接在键盘支架下方的支架腿上，用于放置鼠标。本实用新型占用空间小且结构合理、使用便利。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.025 seconds)
