公开(公告)号：CN1157418A

公开(公告)日：1997-08-20

申请号：CN96101194.7

申请日：1996-02-17

Applicant: 北京师范大学 ,  中国航天工业总公司

Inventor： 颜一鸣 ,  赫业军 ,  陈宝振 ,  刘安东 ,  丁训良 ,  王大椿 ,  魏富忠

IPC: G02B3/00

CPC classification number: B82Y10/00 ,  G03F7/70166 ,  G21K1/06 ,  G21K2201/064 ,  G21K2201/067

Abstract: 一种整体X光透镜及其制造方法和应用，该透镜包含多个从一端贯通过另一端的X光导孔，其特点在于：该透镜为没有支撑部件的、且由上述X光导孔壁自身熔合而成的、单一的玻璃固体，它可在很宽的波长范围内调控X光，将其会聚成很小的朿斑或转化为准平行光束，也可与X光导管或光阑组成组合体，以进一步提高X光功率密度，它的占空比高、结构小巧；该透镜采用在加热炉内将玻璃管拉伸，一次或多次复合方法一次拉制成型，因此工艺简单、省时、造价低，可应用于荧光分析仪、衍射仪及光刻装置中。

公开(公告)号：CN1069136C

公开(公告)日：2001-08-01

申请号：CN96101194.7

申请日：1996-02-17

Applicant: 北京师范大学 ,  中国航天工业总公司

Inventor： 颜一鸣 ,  赫业军 ,  陈宝振 ,  刘安东 ,  丁训良 ,  王大椿 ,  魏富忠

IPC: G02B3/00

CPC classification number: B82Y10/00 ,  G03F7/70166 ,  G21K1/06 ,  G21K2201/064 ,  G21K2201/067

Abstract: 一种整体X光透镜及其制造方法和应用，该透镜包含多个从一端贯通到另一端的X光导孔，其特点在于：该透镜为没有支撑部件的、且由上述X光导孔壁自身熔合而成的、单一的玻璃固体，它可在很宽的波长范围内调控X光，将其会聚成很小的束斑或转化为准平行光束，也可与X光导管或光阑组成组合体，以进一步提高X光功率密度，它的占空比高、结构小巧；该透镜采用在加热炉内将玻璃管拉伸，一次或多次复合方法一次拉制成型，因此工艺简单、省时、造价低，可应用于荧光分析仪、衍射仪及光刻装置中。

公开(公告)号：CN2236665Y

公开(公告)日：1996-10-02

申请号：CN96203533.5

申请日：1996-02-17

Applicant: 中国航天工业总公司 ,  北京师范大学

Inventor： 颜一鸣 ,  王大椿 ,  张胜基 ,  赫业军 ,  施修龄 ,  潘世友 ,  刘易成 ,  伍克军

IPC: G03F7/00

Abstract: 一种用于微电子器件制造的深亚微米X射线光刻装置包括一个脉冲等离子体软X射线源、一个台上有掩模和样片的光刻工作台、真空设备、相关电源及控制系统等，其特点在于：在软X光源和光刻工作台之间加一整体准平行束软X光透镜，该透镜为一个单一的、没有支撑部件的多孔玻璃固体，内有多个从所述固体一端贯通到另一端的X光导孔，且该玻璃固体由X光导孔壁自身熔合而成。本实用新型具有X射线利用率高、光刻离位失真和半影模糊小的优点。