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发明公开
一种高效率极紫外辐射产生方法及系统审中-实审

公开(公告)号：CN114624959A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202011453395.2

申请日：2020-12-11

Applicant: 北京大学

Inventor： 马文君 , 寿寅任 , 王鹏杰 , 徐诗睿 , 赵家瑞 , 颜学庆

IPC: G03F7/20 , G21K1/06 , H05G2/00

Abstract: 本发明公开了一种高效率极紫外辐射产生方法，通过激光打固体靶产生极紫外辐射，对激光进行聚焦，聚焦后的激光作用在靶材上，聚焦前的激光源为飞秒激光源；靶材为满足平均密度介于常规固体和常规气体之间、微米尺寸下分布均匀、边界陡峭特点的材质，本发明还公开了一种高效率极紫外辐射产生系统，包括激光源(1)和靶(2)，在激光源(1)与靶(2)之间还设置有离轴抛物面镜聚焦装置(4)，在激光源(1)与离轴抛物面镜聚焦装置(4)之间设置有等离子体镜装置(5)。根据本发明所述的高效率极紫外辐射产生方法及装置，具有产生极紫外辐射效率高、谱带宽、光谱可调等诸多优点。

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