公开(公告)号：CN108385084A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810143831.2

申请日：2018-02-12

Applicant: 北京印刷学院

Inventor： 刘忠伟 ,  杨丽珍 ,  郭群 ,  朱惠钦

IPC: C23C16/18 ,  C23C16/32 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明涉及一种化学气相沉积制备镍薄膜、碳化镍薄膜的设备及其方法。为了解决已有镍薄膜、碳化镍薄膜制备方法存在的工艺流程复杂、薄膜粒子尺寸与形貌难以调控、三维基材台阶覆盖率差的不足，本发明的制备镍薄膜、碳化镍薄膜的方法，在该方法中，使用加热装置对镍单体瓶进行加热，将镍单体挥发为气体，气态镍与载气混合后通入沉积腔中，使用加热炉对沉积腔室进行加热，气态的镍单体在基材表面发生热分解反应生成镍薄膜、碳化镍薄膜与可挥发的副产物，镍薄膜、碳化镍薄膜沉积在基础表面，即得到镍薄膜、碳化镍薄膜。本发明方法相比于其他镍、碳化镍薄膜制备工艺，操作简便。本发明通过调控沉积温度，可以选择性沉积镍薄膜、碳化镍薄膜并可以调节镍碳比例。

公开(公告)号：CN103972451B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201410216920.7

申请日：2014-05-21

Applicant: 北京印刷学院 ,  烟台鸿庆预涂新材料股份有限公司

Inventor： 王正铎 ,  陈强 ,  朱惠钦 ,  原建松 ,  曹庆波

IPC: H01M2/16 ,  C23C14/30 ,  C23C14/10 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明属于材料表面改性处理技术，特别是对电池隔膜进行表面改性处理的方法。其原理为在离子辅助电子束蒸发镀膜装置中，无机氧化物原料被加热蒸发、沉积至电池隔膜表面形成氧化物涂层的过程中，硅氧烷类有机单体被离子源电离活化并掺杂至无机氧化物涂层中。由于无机氧化物涂层的引入，提高了聚烯烃隔膜的亲水性和耐热性。且由于硅氧烷类有机单体的离化掺杂效应，明显降低无机氧化物涂层的内应力和阻隔性，从而使聚烯烃隔膜可以较好地保持原有的柔韧性和孔隙。从而，改善聚烯烃电池隔膜的亲水性、耐热性，并保持较好的柔韧性和孔隙率。

公开(公告)号：CN103972451A

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201410216920.7

申请日：2014-05-21

Applicant: 北京印刷学院 ,  烟台鸿庆包装材料有限公司

Inventor： 王正铎 ,  陈强 ,  朱惠钦 ,  原建松 ,  曹庆波

IPC: H01M2/16 ,  C23C14/30 ,  C23C14/10 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明属于材料表面改性处理技术，特别是对电池隔膜进行表面改性处理的方法。其原理为在离子辅助电子束蒸发镀膜装置中，无机氧化物原料被加热蒸发、沉积至电池隔膜表面形成氧化物涂层的过程中，硅氧烷类有机单体被离子源电离活化并掺杂至无机氧化物涂层中。由于无机氧化物涂层的引入，提高了聚烯烃隔膜的亲水性和耐热性。且由于硅氧烷类有机单体的离化掺杂效应，明显降低无机氧化物涂层的内应力和阻隔性，从而使聚烯烃隔膜可以较好地保持原有的柔韧性和孔隙。从而，改善聚烯烃电池隔膜的亲水性、耐热性，并保持较好的柔韧性和孔隙率。