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公开(公告)号：CN116695048A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310896312.4
申请日：2016-07-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及钇基喷涂涂层和制造方法。通过将氧化钇、氟化钇或氧氟化钇热喷涂到基材上以形成10‑500μm厚的涂层，并且用有机酸、无机酸或其混合物的清洁液对该涂层进行化学清洁直至该涂层表面具有300nm以下的尺寸的颗粒的粒数变为不多于5个颗粒/mm2，从而得到钇基喷涂涂层。该钇基喷涂涂层即使在卤素气体等离子体气氛中也显示出高耐腐蚀性并且防止钇基颗粒在蚀刻处理过程中剥落。
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公开(公告)号：CN116685564A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202180086497.1
申请日：2021-12-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C04B41/87
Abstract: 稀土氧化物喷涂材料，其为基于激光衍射‑散射法的体积基准的平均粒径D50为10μm以上且18μm以下的粒子状，压缩度为13以下，并且BET比表面积为0.1m2/g以上且2m2/g以下。本发明的稀土氧化物喷涂材料即使采用将喷涂材料以固体(粒子)供给的大气等离子体喷涂，也能够形成气孔率低的致密的喷涂膜。另外，通过使用本发明的稀土氧化物喷涂材料，采用大气等离子体喷涂形成喷涂膜，从而能够容易地在曲面形成喷涂膜，另外，能够将喷涂膜形成得厚。
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公开(公告)号：CN110835720B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201910748398.X
申请日：2019-08-14
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料。具体涉及一种具有多层结构的喷涂涂层，其包含下层和表层，所述下层由含有稀土氧化物的喷涂涂层制成，所述表层由含有稀土氟化物和/或稀土氟氧化物的另外喷涂涂层制成，该多层的喷涂涂层具有23℃下的体积电阻率和200℃下的体积电阻率，23℃下的体积电阻率为1×109Ω·cm至1×1012Ω·cm，由200℃下的体积电阻率与23℃下的体积电阻率之比限定的体积电阻率的温度指数为0.1至10。
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公开(公告)号：CN112063950B
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202011092525.4
申请日：2016-10-21
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 氟化钇喷涂材料包含Y5O4F7和YF3并具有10‑60μm的平均粒度和1.2‑2.5g/cm3的堆积密度。所述氟化钇喷涂材料中的Y5O4F7和YF3由30至90重量％的Y5O4F7和余量的YF3组成。通过大气等离子体喷涂所述喷涂材料获得氧氟化钇的喷涂的涂层。
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公开(公告)号：CN107287545B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN201710234426.7
申请日：2017-04-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明为氟化钇喷涂涂层、用于其的喷涂材料以及包括喷涂涂层的抗腐蚀涂层。将具有10‑500μm的厚度、1‑6wt％的氧浓度和350‑470HV的硬度的氟化钇喷涂涂层沉积在基材表面上。氟化钇喷涂涂层显示出在卤素系气体气氛或卤素系气体等离子体气氛中的优异的抗腐蚀性，起保护基材免受在酸清洁期间的酸侵入损害的作用并且使来自反应产物和由于从涂层剥离的颗粒产生最小化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112063949A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202011091354.3
申请日：2016-10-21
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 氟化钇喷涂材料包含Y5O4F7和YF3并具有10‑60μm的平均粒度和1.2‑2.5g/cm3的堆积密度。所述氟化钇喷涂材料中的Y5O4F7和YF3由30至90重量％的Y5O4F7和余量的YF3组成。通过大气等离子体喷涂所述喷涂材料获得氧氟化钇的喷涂的涂层。
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公开(公告)号：CN116815177A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310769970.7
申请日：2019-07-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C23C24/00
Abstract: 本发明涉及一种成膜粉末、成膜方法以及成膜粉末的制备方法。具体涉及一种含稀土氟氧化物的成膜粉末，其平均颗粒尺寸D50为0.6μm至15μm，通过压汞法测量的≤10μm的孔隙的总体积为0.51cm3/g至1.5cm3/g，且BET表面积为3m2/g至50m2/g，该成膜粉末适于以高成品率或沉积率和高生产率来形成致密膜。可通过在稀土氧化物颗粒表面形成稀土氟化铵复盐以提供前体颗粒，并在350℃至700℃的温度下对该前体颗粒进行热处理来制备具有较大孔隙体积的成膜粉末。
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公开(公告)号：CN110819933B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN201910732028.7
申请日：2019-08-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及用于悬浮液等离子喷涂的浆料和用于形成喷涂涂层的方法。本发明提供用于悬浮液等离子喷涂中的浆料，其包括分散介质和稀土氧化物颗粒，稀土氧化物颗粒具有1.5至5μm的粒度D50和小于1m2/g的BET比表面积，并且浆料中的稀土氧化物颗粒含量为10至45重量％。
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公开(公告)号：CN113699477A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202111009097.9
申请日：2019-08-14
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料。具体涉及一种具有多层结构的喷涂涂层，其包含下层和表层，所述下层由含有稀土氧化物的喷涂涂层制成，所述表层由含有稀土氟化物和/或稀土氟氧化物的另外喷涂涂层制成，该多层的喷涂涂层具有23℃下的体积电阻率和200℃下的体积电阻率，23℃下的体积电阻率为1×109Ω·cm至1×1012Ω·cm，由200℃下的体积电阻率与23℃下的体积电阻率之比限定的体积电阻率的温度指数为0.1至10。
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公开(公告)号：CN109477199B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201780043494.3
申请日：2017-07-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C23C4/10 , C01F17/265 , C01F17/218 , C01F17/224 , C01F17/247 , C01F17/259 , C23C4/134
Abstract: 悬浮等离子体热喷涂用浆料，是用于包含含氧气体的气氛下的悬浮等离子体热喷涂的热喷涂材料，含有5质量％以上且40质量％以下的最大粒径(D100)为12μm以下的稀土类氟化物粒子，以选自水和有机溶剂中的1种或2种以上作为溶剂。能够在包含含氧气体的气氛下、采用悬浮等离子体热喷涂在基材上稳定地形成工艺偏移和颗粒的产生少的包含稀土类氧氟化物的热喷涂膜。具备该热喷涂膜的热喷涂构件对于卤素系气体等离子体的耐蚀性优异。
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