公开(公告)号：CN116685564A

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN202180086497.1

申请日：2021-12-16

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 西村龙星 ,  高井康 ,  中野瑞 ,  宫本滉平

IPC: C04B41/87

Abstract: 稀土氧化物喷涂材料，其为基于激光衍射‑散射法的体积基准的平均粒径D50为10μm以上且18μm以下的粒子状，压缩度为13以下，并且BET比表面积为0.1m2/g以上且2m2/g以下。本发明的稀土氧化物喷涂材料即使采用将喷涂材料以固体(粒子)供给的大气等离子体喷涂，也能够形成气孔率低的致密的喷涂膜。另外，通过使用本发明的稀土氧化物喷涂材料，采用大气等离子体喷涂形成喷涂膜，从而能够容易地在曲面形成喷涂膜，另外，能够将喷涂膜形成得厚。

公开(公告)号：CN116635564A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202180084117.0

申请日：2021-11-29

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 宫本滉平 ,  高井康 ,  中野瑞 ,  西村龙星

IPC: C23C4/134

Abstract: 使用等离子体喷镀用浆料，采用等离子体喷镀来制造喷镀膜，所述等离子体喷镀用浆料含有20质量％以上且80质量％以下的最大粒径(D100)为15μm以下的氧化铝粒子，以选自水和有机溶剂中的1种或2种以上为分散介质，将700mL的所述等离子体喷镀用浆料放入高193mm的1L容器中并在室温下静置168小时后的上清液的透射率为90％以下。通过使用本发明的等离子体喷镀用浆料，能够在基材上稳定地形成气孔率低、并且具有充分的膜厚、单位体积的电阻的温度变化小的、包含氧化铝的喷镀膜，具备这样的喷镀膜的喷镀构件可用于静电卡盘。