气体供给系统和推定气罐的内部压力的方法

    公开(公告)号:CN112615025B

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN202010961034.2

    申请日:2020-09-14

    Abstract: 本发明的气体供给系统具备气罐、将从气罐供给的气体的压力减压的非平衡式减压阀、检测减压阀的二次侧的压力的压力传感器、变更减压阀的二次侧的流量的流量变更部、以及控制部。控制部使减压阀的二次侧的流量在第1流量与第2流量之间变更,从压力传感器取得作为二次侧的流量为第1流量时的压力传感器的检测值的第1压力、和作为二次侧的流量为第2流量时的压力传感器的检测值的第2压力,使用第1流量、第2流量、以及第1压力与所述第2压力的差值的关系来推定减压阀的一次侧的压力。

    气体供给系统和推定气罐的内部压力的方法

    公开(公告)号:CN112615025A

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:CN202010961034.2

    申请日:2020-09-14

    Abstract: 本发明的气体供给系统具备气罐、将从气罐供给的气体的压力减压的非平衡式减压阀、检测减压阀的二次侧的压力的压力传感器、变更减压阀的二次侧的流量的流量变更部、以及控制部。控制部使减压阀的二次侧的流量在第1流量与第2流量之间变更,从压力传感器取得作为二次侧的流量为第1流量时的压力传感器的检测值的第1压力、和作为二次侧的流量为第2流量时的压力传感器的检测值的第2压力,使用第1流量、第2流量、以及第1压力与所述第2压力的差值的关系来推定减压阀的一次侧的压力。

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