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公开(公告)号：CN108071455B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201711107100.4
申请日：2017-11-10
Abstract: 提供一种内燃机的排气净化装置。上述排气净化装置包括NOx净化催化剂、还原剂罐、还原剂供给装置、升压器、加热器和电子控制单元。上述电子控制单元被构成为：在所推定出的排气能量低于第1阈值时，执行使上述还原剂的温度上升至第1目标温度的控制，以使得由上述还原剂供给装置供给的还原剂在排气通路内成为气液混合状态。
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公开(公告)号：CN108071455A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201711107100.4
申请日：2017-11-10
Abstract: 提供一种内燃机的排气净化装置。上述排气净化装置包括NOx净化催化剂、还原剂罐、还原剂供给装置、升压器、加热器和电子控制单元。上述电子控制单元被构成为：在所推定出的排气能量低于第1阈值时，执行使上述还原剂的温度上升至第1目标温度的控制，以使得由上述还原剂供给装置供给的还原剂在排气通路内成为气液混合状态。
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公开(公告)号：CN101096753A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200710127012.0
申请日：2007-06-15
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC , 学校法人同志社
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/4486 , C23C16/45523
Abstract: 本发明的成膜装置是一种使液体原料汽化，使其堆积于基板上而成膜的成膜装置，其特征在于，具有：在内部保持基板(W)的成膜室(2)以及多个喷射阀(3)，该喷射阀配置在所述成膜室(2)的不同位置，将同一液体原料直接喷射到所述成膜室(2)内，通过使其减压沸腾而将所述液体原料汽化供给。采用本发明，能够实现成膜室的小型化，进而实现成膜装置的小型化，使成膜的膜厚分布良好，汽化量多而提高成膜的生产效率。
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公开(公告)号：CN101142662A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200680008202.4
申请日：2006-03-10
IPC: H01L21/31
CPC classification number: H01L21/31637 , C23C16/4485 , C23C16/45557 , H01L21/02175 , H01L21/02183 , H01L21/02271 , H01L21/31604
Abstract: 本发明所涉及的成膜装置可以高速且重现性良好地形成减少氧欠缺的金属氧化膜或金属氮化膜，同时实现装置的小型化。本发明所涉及的成膜装置，具有将基板(2)保持在内部的成膜室(3)和将液体原料直接喷射到成膜室(3)内的喷射阀(4)，上述液体原料为含有金属化合物和低沸点有机化合物的混合溶液，使上述成膜室(3)内的压力大于与上述低沸点有机化合物混合前的上述金属化合物的蒸气压，且小于上述混合溶液的蒸气压。
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公开(公告)号：CN100527362C
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200680008202.4
申请日：2006-03-10
IPC: H01L21/31
CPC classification number: H01L21/31637 , C23C16/4485 , C23C16/45557 , H01L21/02175 , H01L21/02183 , H01L21/02271 , H01L21/31604
Abstract: 本发明所涉及的成膜装置可以高速且重现性良好地形成减少氧欠缺的金属氧化膜或金属氮化膜，同时实现装置的小型化。本发明所涉及的成膜装置，具有将基板(2)保持在内部的成膜室(3)和将液体原料直接喷射到成膜室(3)内的喷射阀(4)，上述液体原料为含有金属化合物和低沸点有机化合物的混合溶液，所述成膜室内的压力被减压、并且使上述成膜室(3)内的压力大于与上述低沸点有机化合物混合前的上述金属化合物的蒸气压，且小于上述混合溶液的蒸气压。
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