公开(公告)号：CN101096753A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200710127012.0

申请日：2007-06-15

Applicant: 株式会社堀场制作所 ,  株式会社堀场STEC ,  学校法人同志社

Inventor： 千田二郎 ,  大岛元启 ,  清水哲夫 ,  富永浩二 ,  松田耕一郎 ,  山岸丰

IPC: C23C16/00

CPC classification number: C23C16/4486 ,  C23C16/45523

Abstract: 本发明的成膜装置是一种使液体原料汽化，使其堆积于基板上而成膜的成膜装置，其特征在于，具有：在内部保持基板(W)的成膜室(2)以及多个喷射阀(3)，该喷射阀配置在所述成膜室(2)的不同位置，将同一液体原料直接喷射到所述成膜室(2)内，通过使其减压沸腾而将所述液体原料汽化供给。采用本发明，能够实现成膜室的小型化，进而实现成膜装置的小型化，使成膜的膜厚分布良好，汽化量多而提高成膜的生产效率。