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公开(公告)号:CN101842348A
公开(公告)日:2010-09-22
申请号:CN200880114190.2
申请日:2008-11-04
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C303/08 , C07C309/80
CPC classification number: C07C303/22 , C07C309/80
Abstract: 本发明公开一种三氟甲磺酰氟的制造方法,其特征在于,该方法为通过在水的存在下,使三氟甲磺酰氯(CF3SO2Cl)和金属氟化物反应,从而制造三氟甲磺酰氟(CF3 SO2F),其中,相对于金属氟化物100质量%,使水的量在0.6质量%~10.0质量%的范围内而进行反应。与以往的制造法相比,该制造方法能够以短工序、高收率且高纯度制造三氟甲磺酰氟。
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公开(公告)号:CN101970400B
公开(公告)日:2015-04-22
申请号:CN200980108659.6
申请日:2009-03-10
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C317/18 , C07C381/12 , C08F20/26 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C381/12 , C07C317/18 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F220/24 , C08F232/08
Abstract: 本发明提供一种具有下述通式(1)所示的含氟碳负离子结构的酸或具有含氟碳负离子结构的盐。其中,本发明可提供光产酸剂以及含有这样的光产酸剂的抗蚀材料,通过使用产生该酸的化学增幅抗蚀材料用的光产酸剂,对ArF准分子激光等为高感光度、所产生的酸(光产酸)的酸性度充分高、且具有对抗蚀溶剂高的溶解性和对树脂优异的相容性。
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公开(公告)号:CN102471203B
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201080036656.9
申请日:2010-07-30
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C45/82 , C07C29/00 , C07C29/82 , C07C31/42 , C07C49/167 , C07C49/173
Abstract: 一种制造六氟丙酮一水合物的方法,其包括:(1)在有机溶剂中,使六氟丙酮被水或六氟丙酮水合物吸收(加水法),或者(2)通过将六氟丙酮水合物与有机溶剂混合并蒸馏这一简便的方法可以收率良好地除去作为低沸点组合物的水和有机溶剂的混合物,得到作为高沸点组合物的六氟丙酮一水合物和有机溶剂的混合物(脱水法)。
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公开(公告)号:CN101970400A
公开(公告)日:2011-02-09
申请号:CN200980108659.6
申请日:2009-03-10
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C317/18 , C07C381/12 , C08F20/26 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C381/12 , C07C317/18 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F220/24 , C08F232/08
Abstract: 本发明提供一种具有下述通式(1)所示的含氟碳负离子结构的酸或具有含氟碳负离子结构的盐。其中,本发明可提供光产酸剂以及含有这样的光产酸剂的抗蚀材料,通过使用产生该酸的化学增幅抗蚀材料用的光产酸剂,对ArF准分子激光等为高感光度、所产生的酸(光产酸)的酸性度充分高、且具有对抗蚀溶剂高的溶解性和对树脂优异的相容性。
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公开(公告)号:CN101878192B
公开(公告)日:2014-03-05
申请号:CN200980101180.X
申请日:2009-03-02
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C209/74 , C07C211/52
CPC classification number: C07C209/68 , C07C211/52
Abstract: 本发明公开了一种由以下式子表示的4-全氟异丙基苯胺类的制造方法。该方法中,在有机溶剂存在下,使有机碱或“由有机碱和氟化氢构成的盐或络合物”共存,将对应的含氨基芳基的氟代醇类与硫酰氟(SO2F2)反应。根据本发明,能够显著抑制副产物的生成,同时制造目标产物。
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公开(公告)号:CN102105444B
公开(公告)日:2013-08-07
申请号:CN200980129512.5
申请日:2009-07-28
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C313/04
CPC classification number: C07C313/04 , Y02P20/582
Abstract: 一种全氟烷基亚磺酸盐的制造方法,使全氟烷基磺酰卤与肼反应而得到全氟烷基亚磺酸肼盐(RfSO2H·N2H4),然后使得到的该肼盐与碱金属氢氧化物等碱反应而得到全氟烷基亚磺酸盐,进而使得到的该亚磺酸盐与碱金属氟化物等反应,使该亚磺酸盐作为晶体析出,然后向得到的该亚磺酸盐中添加碱金属卤化物等,从而得到高纯度的全氟烷基亚磺酸盐。与以往技术相比,该制造方法能够以工业规模安全且容易地制造,并且能够大幅度地减少废弃物,非常有用。
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公开(公告)号:CN101842348B
公开(公告)日:2013-06-05
申请号:CN200880114190.2
申请日:2008-11-04
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C303/08 , C07C309/80
CPC classification number: C07C303/22 , C07C309/80
Abstract: 本发明公开一种三氟甲磺酰氟的制造方法,其特征在于,该方法为通过在水的存在下,使三氟甲磺酰氯(CF3SO2Cl)和金属氟化物反应,从而制造三氟甲磺酰氟(CF3 SO2F),其中,相对于金属氟化物100质量%,使水的量在0.6质量%~10.0质量%的范围内而进行反应。与以往的制造法相比,该制造方法能够以短工序、高收率且高纯度制造三氟甲磺酰氟。
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公开(公告)号:CN101553465B
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN200780044379.4
申请日:2007-12-18
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C315/00 , C07C211/63 , C07C315/04 , C07C317/04 , C07F1/00 , C07F1/06
CPC classification number: C07C315/00 , C07C315/04 , C07F3/02 , C07C317/04
Abstract: 本发明公开一种用于生产由式[1]表示的三(全氟烷磺酰基)甲基化酸盐的方法,该方法包括步骤(a)用于通过使由式[2]表示的甲基卤化镁与由式[3]表示的全氟烷磺酰氟反应得到反应混合物;和步骤(b)用于使由此得到的反应混合物与选自由碱金属卤化物、季铵盐和季鏻盐组成的组中的至少一种直接反应。该方法可以容易地以高产率生产希望的甲基化酸盐。
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公开(公告)号:CN102471203A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201080036656.9
申请日:2010-07-30
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C45/82 , C07C29/00 , C07C29/82 , C07C31/42 , C07C49/167 , C07C49/173
Abstract: 一种制造六氟丙酮一水合物的方法,其包括:(1)在有机溶剂中,使六氟丙酮被水或六氟丙酮水合物吸收(加水法),或者(2)通过将六氟丙酮水合物与有机溶剂混合并蒸馏这一简便的方法可以收率良好地除去作为低沸点组合物的水和有机溶剂的混合物,得到作为高沸点组合物的六氟丙酮一水合物和有机溶剂的混合物(脱水法)。
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公开(公告)号:CN102105444A
公开(公告)日:2011-06-22
申请号:CN200980129512.5
申请日:2009-07-28
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C313/04
CPC classification number: C07C313/04 , Y02P20/582
Abstract: 一种全氟烷基亚磺酸盐的制造方法,使全氟烷基磺酰卤与肼反应而得到全氟烷基亚磺酸肼盐(RfSO2H·N2H4),然后使得到的该肼盐与碱金属氢氧化物等碱反应而得到全氟烷基亚磺酸盐,进而使得到的该亚磺酸盐与碱金属氟化物等反应,使该亚磺酸盐作为晶体析出,然后向得到的该亚磺酸盐中添加碱金属卤化物等,从而得到高纯度的全氟烷基亚磺酸盐。与以往技术相比,该制造方法能够以工业规模安全且容易地制造,并且能够大幅度地减少废弃物,非常有用。
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