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公开(公告)号：CN101687741B
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN200880024402.8
申请日：2008-09-05
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C309/17 , C07C29/147 , C07C67/08 , C07C67/14 , C07C303/32 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C07C31/34 , C07C69/653 , C07C69/63 , C07C69/753
Abstract: 使用亚磺化剂对羧酸溴二氟乙基酯进行亚磺化时，通过使用有机碱，可以得到2-(烷基羰氧基)-1，1-二氟乙烷亚磺酸铵盐。将其氧化可以得到2-(烷基羰氧基)-1，1-二氟乙烷磺酸铵盐。通过以其为原料交换成鎓盐，或者经由皂化和酯化交换成鎓盐，可以得到2-(烷基羰氧基)-1，1-二氟乙烷磺酸鎓盐类。
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公开(公告)号：CN101970400B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN200980108659.6
申请日：2009-03-10
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C317/18 , C07C381/12 , C08F20/26 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C381/12 , C07C317/18 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F220/24 , C08F232/08
Abstract: 本发明提供一种具有下述通式(1)所示的含氟碳负离子结构的酸或具有含氟碳负离子结构的盐。其中，本发明可提供光产酸剂以及含有这样的光产酸剂的抗蚀材料，通过使用产生该酸的化学增幅抗蚀材料用的光产酸剂，对ArF准分子激光等为高感光度、所产生的酸(光产酸)的酸性度充分高、且具有对抗蚀溶剂高的溶解性和对树脂优异的相容性。
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公开(公告)号：CN101970400A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200980108659.6
申请日：2009-03-10
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C317/18 , C07C381/12 , C08F20/26 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C381/12 , C07C317/18 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F220/24 , C08F232/08
Abstract: 本发明提供一种具有下述通式(1)所示的含氟碳负离子结构的酸或具有含氟碳负离子结构的盐。其中，本发明可提供光产酸剂以及含有这样的光产酸剂的抗蚀材料，通过使用产生该酸的化学增幅抗蚀材料用的光产酸剂，对ArF准分子激光等为高感光度、所产生的酸(光产酸)的酸性度充分高、且具有对抗蚀溶剂高的溶解性和对树脂优异的相容性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102449000B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201080024220.8
申请日：2010-05-20
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08F20/22 , C07C69/653 , C07C69/732 , C08F12/14 , C08F16/12 , C08F32/08 , G03F7/039 , G03F7/11
CPC classification number: C07C69/653 , C07C69/675 , C07C69/732 , C07C2602/42 , C07C2603/68 , C08F220/24 , C08F220/30 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041
Abstract: 本发明的含氟高分子化合物是包含通式(2)所示的重复单元(a)的、质均分子量为1,000～1,000,000的树脂。该树脂可以适用于利用300nm以下波长的高能射线或电子束来形成图案的抗蚀剂组合物、和浸没式光刻中的顶涂层组合物，其特征在于拒水性、特别是后退接触角大。(式中，R1表示含有聚合性双键的基团，R2表示氟原子或含氟烷基，R8表示取代或非取代的烷基等，W1表示单键、非取代或取代的亚甲基等。)
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公开(公告)号：CN101687740A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880020858.7
申请日：2008-09-05
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C309/17 , C07C29/147 , C07C67/08 , C07C67/14 , C07C303/32 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C07C31/34 , C07C69/653 , C07C69/63 , C07C69/753
Abstract: 本发明提供2-溴-2，2-二氟乙醇的制造方法，其包括通过作为还原剂的酸根型的氢络合物将式[1]所示的溴二氟醋酸衍生物进行还原的工序。其中，所述式[1]中，A表示取代或者非取代的碳原子数1～20的直链状、支链状或环状的烷氧基、取代或者非取代的碳原子数6～15的芳氧基或碳原子数4～15的杂芳氧基、或卤素。通过以该2-溴-2，2-二氟乙醇作为原料，依次进行酯化工序、亚磺化工序、氧化工序，可以得到2-烷基羰氧基-1，1-二氟乙烷磺酸盐类。
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公开(公告)号：CN101687740B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN200880020858.7
申请日：2008-09-05
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C309/17 , C07C29/147 , C07C67/08 , C07C67/14 , C07C303/32 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C07C31/34 , C07C69/653 , C07C69/63 , C07C69/753
Abstract: 本发明提供2-溴-2，2-二氟乙醇的制造方法，其包括通过作为还原剂的酸根型的氢络合物将式[1]所示的溴二氟醋酸衍生物进行还原的工序。其中，所述式[1]中，A表示取代或者非取代的碳原子数1～20的直链状、支链状或环状的烷氧基、取代或者非取代的碳原子数6～15的芳氧基或碳原子数4～15的杂芳氧基、或卤素。通过以该2-溴-2，2-二氟乙醇作为原料，依次进行酯化工序、亚磺化工序、氧化工序，可以得到2-烷基羰氧基-1，1-二氟乙烷磺酸盐类。
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公开(公告)号：CN102449000A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201080024220.8
申请日：2010-05-20
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08F20/22 , C07C69/653 , C07C69/732 , C08F12/14 , C08F16/12 , C08F32/08 , G03F7/039 , G03F7/11
CPC classification number: C07C69/653 , C07C69/675 , C07C69/732 , C07C2602/42 , C07C2603/68 , C08F220/24 , C08F220/30 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041
Abstract: 本发明的含氟高分子化合物是包含通式(2)所示的重复单元(a)的、质均分子量为1,000～1,000,000的树脂。该树脂可以适用于利用300nm以下波长的高能射线或电子束来形成图案的抗蚀剂组合物、和浸没式光刻中的顶涂层组合物，其特征在于拒水性、特别是后退接触角大。(式中，R1表示含有聚合性双键的基团，R2表示氟原子或含氟烷基，R8表示取代或非取代的烷基等，W1表示单键、非取代或取代的亚甲基等。)
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公开(公告)号：CN101687741A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880024402.8
申请日：2008-09-05
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C309/17 , C07C29/147 , C07C67/08 , C07C67/14 , C07C303/32 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C07C31/34 , C07C69/653 , C07C69/63 , C07C69/753
Abstract: 使用亚磺化剂对羧酸溴二氟乙基酯进行亚磺化时，通过使用有机碱，可以得到2-(烷基羰氧基)-1，1-二氟乙烷亚磺酸铵盐。将其氧化可以得到2-(烷基羰氧基)-1，1-二氟乙烷磺酸铵盐。通过以其为原料交换成鎓盐，或者经由皂化和酯化交换成鎓盐，可以得到2-(烷基羰氧基)-1，1-二氟乙烷磺酸鎓盐类。
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