公开(公告)号：CN101493574B

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN200810204560.3

申请日：2008-12-15

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李铁 ,  明安杰 ,  周萍 ,  刘延祥 ,  周宏 ,  王翊 ,  王跃林

IPC: G02B26/00

Abstract: 本发明涉及一种微机械推拉式可调谐光栅，其特征在于所述的微机械推拉式可调谐光栅包括光栅条阵列、光栅链接梁、光栅支撑梁以及所连接的推驱动器和拉驱动器，其中，光栅条阵列通过光栅链接梁相连后构成光栅本体，再通过光栅支撑梁与推驱动器和拉驱动器相连构成微机械推拉式可调谐光栅；所述的推驱动器或拉驱动器位于光栅本体的一侧或两侧；光栅链接梁为1级或多级细弹性梁。本发明提供推拉式光栅结构降低了常规拉伸式DRIE工艺的苛刻要求，在相同条件下可实现更大的调谐范围，且可采用常规的MEMS工艺，易于大批量、低成本制作。

公开(公告)号：CN101493574A

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200810204560.3

申请日：2008-12-15

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李铁 ,  明安杰 ,  周萍 ,  刘延祥 ,  周宏 ,  王翊 ,  王跃林

IPC: G02B26/00

Abstract: 本发明涉及一种微机械推拉式可调谐光栅，其特征在于所述的微机械推拉式可调谐光栅包括光栅条阵列、光栅链接梁、光栅支撑梁以及所连接的推驱动器和拉驱动器，其中，光栅条阵列通过光栅链接梁相连后构成光栅本体，再通过光栅支撑梁与推驱动器和拉驱动器相连构成微机械推拉式可调谐光栅；所述的推驱动器或拉驱动器位于光栅本体的一侧或两侧；光栅链接梁为1级或多级细弹性梁。本发明提供推拉式光栅结构降低了常规拉伸式DRIE工艺的苛刻要求，在相同条件下可实现更大的调谐范围，且可采用常规的MEMS工艺，易于大批量、低成本制作。