公开(公告)号：CN106449862A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610573931.X

申请日：2016-07-20

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 姜海龙 ,  孟凡英 ,  黄勇亮 ,  韦小庆

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/0322

Abstract: 本发明提供一种铜锌锡硫薄膜的制备方法，包括步骤：1）以铜盐、锌盐、锡盐、硫脲四种化合物为原料，按原子比Cu/(Zn+Sn)=0.7~1，Zn/Sn=1~1.2的比例溶解于有机溶剂中形成铜锌锡硫溶液；2）将所述铜锌锡硫溶液旋涂于基底；3）于200℃~300℃下进行预退火制成铜锌锡硫薄膜；4）将所述铜锌锡硫薄膜放入退火腔室，于500℃~600℃下进行后退火。本发明可有效解决铜锌锡硫高温分解的问题，成膜后的金属比例与前驱体溶液比例一致，可以轻松获得理想的贫铜富锌金属比例。本发明可以提高了薄膜的结晶度，有利于铜锌锡硫太阳电池效率的提升；本发明可有效避免污染问题，并节约生产成本，具有实用价值，因充入氮气的初始压强可控，可实现不同压强对成膜影响的研究，具有重要意义。