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公开(公告)号：CN116460443A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310418443.1
申请日：2023-04-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B23K26/352 , B23K26/60 , B23K26/082 , B23K26/0622 , B23K26/70
Abstract: 本发明涉及一种RB‑SiC表面飞秒激光改性预处理方法，通过飞秒激光对RB‑SiC表面上的预置Si粉进行改性处理，以提高RB‑SiC表面的抛光效率。本发明可以直接对RB‑SiC的切割表面进行表面改性，预置在RB‑SiC表面的Si粉在飞秒激光的高峰值功率作用下被迅速氧化，并随着氧化深度的不断加深，使得氧化后的改性层与RB‑SiC基体形成键合，得到一个具有高粘附强度、高质量的改性涂层。该方法具有操作简便、对RB‑SiC基体和工作环境要求低、可在空气中直接进行等优点，可以应用于面形复杂的RB‑SiC表面改性，能够显著提高其抛光效率。
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公开(公告)号：CN106248585B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201610562930.5
申请日：2016-07-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/17
Abstract: 光学材料三维光热吸收的测量装置及方法，该装置采用横向式构型,使用热透镜技术对材料进行三维光热吸收测量，避免光热偏转技术测量时光斑打在探测器边沿甚至探测器外面带来的误差，为材料特性及损伤研究等提供了有利工具，该方法通过光热偏转技术，间接地使用电阻加热定标为热透镜吸收测量进行定标，避免了在热透镜吸收测量中非同种样品定标时材料间差异带来的误差，同时，在求取系统与材料参数乘积时，所测热透镜信号点与已知吸收率点是同一点，减小了误差。本发明装置简单，调节方便，灵敏度高。
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公开(公告)号：CN105973849A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610529562.4
申请日：2016-07-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/59
CPC classification number: G01N21/59
Abstract: 一种光学材料损耗的测量装置和测量方法，本发明通过测量仅厚度不同的样品组在同一入射角下的透过率差异来去除表面损耗的影响，从而获得样品的材料损耗。测量时通过消除光束偏移和表面缺陷影响提高测量精度。通过增加样品的组数，提高整体损耗量，同时利用锁相放大技术抑制噪声，提高信噪比，从而进一步提高材料损耗的测量精度。本发明装置和方法具有结构简易、调整方便和精度较高的特点。
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公开(公告)号：CN116408535A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202310411740.3
申请日：2023-04-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种全频段误差收敛的激光修形方法，步骤为：首先基于激光修形模拟结果，确定致密化‑熔融效应的脉宽范围，从而获取脉宽范围内的修形深度；然后提取初始面形数值，将单个激光点集束成激光加工子区域，把区域内各点深度取平均值，获得修形平均深度点图；根据脉宽与修形深度的关系将修形平均深度点图转化为脉宽点图；然后设置声光调制器信号，通过控制激光加工子区域的重叠扫描路径，实现全频段收敛的高精度修形。本发明不需要任何附加成本，仅需控制脉宽并按照重叠路径扫描，即可实现全频段误差收敛。该方法扩展了激光加工的应用场景，并提供了一种高精度、低成本的光学制造新方法。
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公开(公告)号：CN113634883B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202110813282.7
申请日：2021-07-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B23K26/12 , B23K26/362 , B23K26/082 , B23K26/064 , B23K26/0622 , G01N21/958
Abstract: 一种利用CO2脉冲激光层析烧蚀表征熔石英玻璃元件亚表面缺陷分布的方法，首先确定脉冲CO2激光烧蚀平台的层析分辨率，之后建立脉宽与烧蚀深度间的关系，然后建立不同层析分辨率下烧蚀层数与烧蚀深度的关系，最后选取所需的层析精度并结合在线CCD成像对亚表面缺陷进行成像表征，获得亚表面缺陷深度及亚表面缺陷随深度的演变规律。本发明具有简单、便捷的特点，可对亚表面缺陷深度、形貌和分布进行直接精确表征，层析分辨率可达
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117046851A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310957263.0
申请日：2023-08-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗方法，包括：首先用光学显微镜和荧光共聚焦显微镜检测表面及亚表面污染缺陷的分布和深度；随后采用应力双折射仪进行不同清洗深度热应力的测定；再通过特定参数进行近无热应力的激光清洗，从而去除元件表面及亚表面污染和结构缺陷，此过程可以实现不破坏元件粗糙度的均匀清洗；最后采用去离子水对熔石英元件进行超声清洁。本发明操作简单且成本低廉，仅需激光清洗即可实现缺陷及污染的有效去除，从而实现近无应力条件下，不破坏粗糙度的均匀清洗，并显著提升熔石英元件的损伤阈值。本方法拓展了激光加工的应用场景，对提高强激光系统元件的损伤阈值有重大意义。
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公开(公告)号：CN112266179A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202011137222.X
申请日：2020-10-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种熔石英玻璃高损伤阈值超光滑表面的加工方法，包括：首先对熔石英玻璃切割成型和精密研磨、兆声化学刻蚀、超声清洗和利用连续CO2激光对熔石英元件进行熔融抛光。本发明可直接对精密研磨后的熔石英玻璃进行高效的加工，获得具有超光滑表面和高抗激光损伤性能的熔石英光学元件。
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公开(公告)号：CN107192670B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201710305726.X
申请日：2017-05-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种材料线性吸收和非线性吸收的测量装置和测量方法，该方法通过采用灵敏度高，对散射光不敏感的光热技术，使用短脉冲高重复频率激光辐照样品，利用锁相放大器测量多脉冲累积作用下样品的线性吸收，利用Boxcar积分器测量单个脉冲下样品的非线性吸收，从而实现线性吸收和非线性吸收的同时测量，为研究材料的吸收特性提供了新的方法和手段。本发明具有对散射光不敏感，效率高的特点。
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公开(公告)号：CN118875500A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411092066.8
申请日：2024-08-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B23K26/362 , B23K26/60
Abstract: 一种超精密熔石英元件的飞秒激光烧蚀方法，步骤为：首先采用熔石英玻璃作为加工样品；然后搭建飞秒激光高精度烧蚀系统，将样品置于精密运动平台，调节精密运动平台与物镜的相对位置，使样品上表面位于焦平面处；然后通过飞秒激光烧蚀系统中的计算机调控激光能量，建立激光能量与烧蚀深度间的关系，获得不破坏粗糙度的激光能量范围；最后定位中频误差位置，按照光栅路径对中频误差区域进行飞秒激光高精度烧蚀，从而消除中频误差且不破坏表面粗糙度。本发明具有材料烧蚀去除分辨率高、加工后表面粗糙度低的优点，实现熔石英材料中频误差的有效抑制。该方法扩展了激光加工的应用场景，并提供了一种高精度、低成本的光学制造新方法。
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公开(公告)号：CN108981923A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810819131.0
申请日：2018-07-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J5/00
Abstract: 一种在线测量连续激光作用下光学元件表面温升的装置包括：由连续激光器、可供样品放置的样品台、第一固定安装式红外热像仪和第一计算机构成的测量连续激光作用下光学元件表面精确温升装置，由固体表面热电偶、可供样品放置的高温恒温加热台、第二固定安装式红外热像仪和第二计算机构成的标定等效辐射率系数ε′装置；及方法。本发明为连续激光系统中光学元件表面温升的直接测量提供参考，在测量之前先对固定安装式红外热像仪的等效辐射率系数进行标定。
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