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公开(公告)号：CN115101658A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210751516.4
申请日：2022-06-29
Applicant: 中北大学
IPC: H01L41/113 , H01L41/22 , G01L1/16 , G01L9/08 , G06F30/20 , G06F111/14
Abstract: 本发明属于NEMS微压力敏传感设计领域，具体为基于挠曲电极化增强力电耦合机制的PZT基石墨烯复合压感薄膜结构，包括Si/SiO2基片，Si/SiO2基片上设有背腔，Si/SiO2基片正面溅射有pt/Ti的金属层，pt/Ti的金属层上面溅射有PZT铁电薄膜，PZT铁电薄膜上有石墨烯薄膜，石墨烯薄膜两边溅射有金属电极，Si/SiO2基片背面有封装基板。本发明通过PZT铁电薄膜弯曲产生的极化电压对石墨烯薄膜进行调控，施加偏压给石墨烯薄膜，通过电路的输出电流间接表征石墨烯载流子的输运情况，进而表征石墨烯薄膜能带的变化，完成对PZT挠曲电极化调控石墨烯能带结构及电输运机制的探究，完成对高灵敏度力电耦合PZT基石墨烯复合压感薄膜结构的设计。
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公开(公告)号：CN119133335A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411199556.8
申请日：2024-08-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于现代装备制造产业的红外显示领域，具体为基于CVD石墨烯的柔性红外显示面板。基于CVD石墨烯的柔性红外显示面板，包括柔性PCB板和石墨烯薄膜，柔性PCB板上预制有电极对，电极对按阵列排列形成电极矩阵，每对电极对都包括正电极和负电极，石墨烯薄膜覆盖于电极矩阵上，柔性PCB板上还预留有控制电极矩阵中电极对通断电的输入接口，输入接口分为正极接口和负极接口。本发明将石墨烯薄膜转移到柔性PCB板上制备柔性红外显示面板，面板可在0‑150°范围内自由/反复弯曲且显示特性保持稳定，还可实现发光面积可控，并且该柔性红外显示面板具有优良的低能耗表现。
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公开(公告)号：CN115655502B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211700537.X
申请日：2022-12-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及石墨烯温度传感器，具体为基于悬浮石墨烯薄膜压阻特性的温度传感器，包括Si作为下基底、SiO2作为上基底的基片，基片上刻出有空腔，SiO2上空腔的两边溅射有金电极，溅射好金电极的基片上转移带有PMMA保护层的石墨烯薄膜，金电极上键合引线后基片封装。本发明通过使用空腔悬浮石墨烯薄膜结构，在提高石墨烯薄膜迁移率的同时对空腔内气体形成密封，该结构可将环境温度变化转化为石墨烯薄膜的形变，进而利用石墨烯薄膜的压阻效应将形变转化为结构的输出电阻变化，从而有效避免了传统的石墨烯热传感结构中利用石墨烯热阻效应进行传感所带来的不稳定性，有效提高了石墨烯MEMS传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN115655502A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211700537.X
申请日：2022-12-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及石墨烯温度传感器，具体为基于悬浮石墨烯薄膜压阻特性的温度传感器，包括Si作为下基底、SiO2作为上基底的基片，基片上刻出有空腔，SiO2上空腔的两边溅射有金电极，溅射好金电极的基片上转移带有PMMA保护层的石墨烯薄膜，金电极上键合引线后基片封装。本发明通过使用空腔悬浮石墨烯薄膜结构，在提高石墨烯薄膜迁移率的同时对空腔内气体形成密封，该结构可将环境温度变化转化为石墨烯薄膜的形变，进而利用石墨烯薄膜的压阻效应将形变转化为结构的输出电阻变化，从而有效避免了传统的石墨烯热传感结构中利用石墨烯热阻效应进行传感所带来的不稳定性，有效提高了石墨烯MEMS传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN115810921B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310086148.0
申请日：2023-02-09
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于太赫兹吸波技术领域，具体为一种石墨烯/介质多层叠加的柔性太赫兹吸波器及其制备方法。吸波器由七层主要结构构成，从上至下依次为石墨烯薄膜层、PI层、石墨烯薄膜层、PI层、石墨烯薄膜层、PI层和金属层，层与层之间旋涂薄层聚二甲基硅氧烷作为粘结剂。本发明设计多层结构，结合湿法腐蚀工艺和表面活化技术，获得柔性太赫兹吸波器件，利用多层结构干涉相消机制与石墨烯表面等离激元共振对电磁波产生强耦合，实现0.2～2.5THz内的高效吸收。有效解决传统太赫兹吸波结构吸收率低、工艺复杂等难题，得到结构简单、高效吸收、能共形贴附于异形曲面等复杂应用场景的太赫兹吸波器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115810921A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202310086148.0
申请日：2023-02-09
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于太赫兹吸波技术领域，具体为一种石墨烯/介质多层叠加的柔性太赫兹吸波器及其制备方法。吸波器由七层主要结构构成，从上至下依次为石墨烯薄膜层、PI层、石墨烯薄膜层、PI层、石墨烯薄膜层、PI层和金属层，层与层之间旋涂薄层聚二甲基硅氧烷作为粘结剂。本发明设计多层结构，结合湿法腐蚀工艺和表面活化技术，获得柔性太赫兹吸波器件，利用多层结构干涉相消机制与石墨烯表面等离激元共振对电磁波产生强耦合，实现0.2～2.5THz内的高效吸收。有效解决传统太赫兹吸波结构吸收率低、工艺复杂等难题，得到结构简单、高效吸收、能共形贴附于异形曲面等复杂应用场景的太赫兹吸波器。
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公开(公告)号：CN114464538A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202111484387.9
申请日：2021-12-07
Applicant: 中北大学
IPC: H01L21/425 , H01L21/44 , B24B1/00
Abstract: 本申请提供了一种铁电单晶薄膜及其制备方法，包括：清洗铁电单晶与衬底表面；将衬底与铁电单晶进行间接键合，同时与基板进行临时键合；采用不同粒径的磨料对铁电单晶进行减薄抛光；将抛光后的铁电单晶从基板表面剥离，清洗铁电单晶表面，得到铁电单晶薄膜。本申请通过间接键合与化学机械抛光方法代替离子注入方法，可以避免由离子注入引起的薄膜表面晶格损伤，进而获得低厚度、高平整度、低损伤的铁电单晶薄膜，满足高精度器件制备需求，可应用于集成电路制造，微传感器、微执行器等功能元件的制造；可以实现常温环境下制备，减少了在低温—高温—低温的变换过程中铁电单晶由于热失配原因而产生的变形、碎裂等问题，提高产物的成品率。
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公开(公告)号：CN111673090A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010520036.8
申请日：2020-06-09
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于纳米材料制备技术领域，具体涉及一种以没食子酸为结构导向剂的花状银制备方法。本发明通过在冰水浴下，向超纯水中加入硝酸银水溶液和保护剂聚乙烯吡咯烷酮溶液，磁力搅拌，向体系中加入结构导向剂没食子酸溶液，继续搅拌，再向体系中快速注入还原剂抗坏血酸溶液，进行反应，反应结束后取出反应溶液，用超纯水离心清洗，得到花状银粒子。本发明制备制备的花状银多级结构完整、分明，比表面积大，大大扩展了银纳米粒子的性能和应用领域。
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公开(公告)号：CN108577627A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810726099.1
申请日：2018-07-04
Applicant: 中北大学
IPC: A47K5/18
CPC classification number: A47K5/18
Abstract: 本发明提供一种壁挂可循环使用的牙膏容器，主要由牙膏盒体、压盖、牙膏内管和出液管组成，壁挂式设计，悬挂在卫生间墙上，节省卫生间的空间，同时方便取用；使用时打开瓶盖，轻轻按压按钮，压盖随按钮一起挤压出液管，膏体就出来了。装液多，牙膏用完之后随时向内补充牙膏，方便一个家庭使用，减少了购买牙膏的频率；牙膏管竖立朝下地球引力的作用可以将牙膏挤干净；膏体用完之后从内管上口灌装补充，实现循环多次使用；牙膏盖与盒盖一体化设计，防止牙膏掉落，尤其是小朋友手不灵活，保证了牙膏的卫生。
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公开(公告)号：CN103048013B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201210569240.4
申请日：2012-12-25
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于微纳器件标定测试的技术领域，具体是一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台，解决了目前由于微纳器件，如压力传感器、加速度传感器等的特殊性，大多数的测试设备要求进行特定的环境测试、电气测、电气测试及机械测试。其包括传感器测试柜、自动加装子系统、控制子系统、数据网栅接口、高精度多通道数据采集板；所述控制子系统包括温度调整装置以及湿度调整装置、温度传感器和湿度传感器、轴上倾角传感器。本发明与现有的技术相比有如下优点：满足传感器多种参数的同时或分别测试需求，解决了以往只能实现环境单一变量测试的问题，适用于复杂环境测试场合；量实现标定、测试的高精度需求。
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