基于MEMS技术的磁感式电子听诊器探头

    公开(公告)号:CN111870275A

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:CN202010720086.0

    申请日:2020-07-24

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于MEMS技术的磁感式电子听诊器探头,解决了目前心音传感器存在灵敏度和信噪比相互制约的问题。本发明电子听诊器探头包括依次榫卯嵌套在一起的负压囊、心音探头壳体、连接体、芯片封装壳体、MEMS声传感器微结构和感应薄膜,感应薄膜上设置有磁体。本发明电子听诊器探头将心音信号从外界环境振动噪声中转化分离出来,进行专一性检测,降低了环境噪声对心音信号检测的影响,提高了其抗干扰能力,使得心音检测精准性提高。同时,由于传感器获取到的心音信号为原始信号,从而降低了后端信号处理电路和消噪算法的难度。

    基于拍型仿生纤毛的高灵敏度MEMS心音心电一体化检测传感器

    公开(公告)号:CN113331863B

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202110701358.7

    申请日:2021-06-24

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于拍型仿生纤毛的高灵敏度MEMS心音心电一体化检测传感器,其包括主要由探头壳体、MEMS声传感器微结构、心音心电一体化电路和信号采集卡组成,MEMS声传感器微结构上设置有拍型仿生纤毛用于检测心音信号,探头壳体上的心电电极用于检测心电信号,二者将检测到的信号传输给心音心电一体化电路进行处理,处理后再传输给信号采集卡。本发明具有设计科学、结构合理、操作简便、携带方便、检测灵敏、成本低、可批量加工、心音心电同步检测等优点,和传统传感器探头相比检测心音与心电信号更加准确、快速和方便。

    基于PDMS-硅纳米膜的柔性心音传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114955980A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210612658.2

    申请日:2022-06-01

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于PDMS‑硅纳米膜的柔性心音传感器,属于半导体技术领域。该传感器由硅纳米膜和柔性基底PDMS组成,硅纳米膜包括压阻区、欧姆接触区和合金区,合金区的材质为铬和金的合金。制备时在SOI片的上方形成氧化层,经过浓硼扩散后形成欧姆接触区,刻蚀顶层硅后形成压阻区,溅射、腐蚀金属并退火后形成合金区,刻蚀并腐蚀埋氧层后形成屋檐结构,钻蚀埋氧层后形成悬空的硅纳米膜结构,最终将硅纳米膜转印到柔性基底PDMS上。该传感器具有较高的灵敏度,同时由于柔性基底PDMS,增加了传感器的适应性和便捷性。

    基于n型悬臂梁式一维MEMS声传感器的电子听诊器

    公开(公告)号:CN112957066B

    公开(公告)日:2023-04-11

    申请号:CN202110182398.5

    申请日:2021-02-10

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于n型悬臂梁式一维MEMS声传感器的电子听诊器,属于生物医疗器件技术领域。该电子听诊器包括由三角支撑架、支撑柱、紧固螺栓、滑块、连接杆、支撑板、支撑杆组成的支撑螺纹连接体,由椭圆形壳体、盖体和感应薄膜组成的心音探头壳体以及设置于心音探头壳体内的MEMS声传感器微结构。本发明电子听诊器设计科学,结构合理,体积小巧美观,成本低廉,加工简单易于批量生产,使用操作方便稳定,检测灵敏度高,抗干扰能力强、信噪比高、可靠性高、带宽高、检测效果好,值得推广使用。

    基于MEMS技术的心音心电检测仪及其检测方法

    公开(公告)号:CN115153620A

    公开(公告)日:2022-10-11

    申请号:CN202210778610.9

    申请日:2022-07-04

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于MEMS技术的心音心电检测仪,属于生物医疗技术领域。该检测仪包括心音传感器、心音测量电路、心电测量电路、模拟信号采集器和信号显示上位机;心音传感器与心音测量电路电连接,心音传感器、心音测量电路和心电测量电路封装在心音心电一体化探头中,心电测量电路通过心电导联线连接有心电电极片,心音心电一体化探头与模拟信号采集器电连接,模拟信号采集器与信号显示上位机电连接。该检测仪相比于传统听诊器具有灵敏度高、抗干扰能力强的优点,同时可以让医生听诊患者心音的同时观察到患者的心音波形,同时兼具测量人体心电的功能,通过心电信号对心音信号的第一心音和第二心音进行标记,实现了心音信号的可视化和量化。

    基于n型悬臂梁式一维MEMS声传感器的电子听诊器

    公开(公告)号:CN112957066A

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN202110182398.5

    申请日:2021-02-10

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于n型悬臂梁式一维MEMS声传感器的电子听诊器,属于生物医疗器件技术领域。该电子听诊器包括由三角支撑架、支撑柱、紧固螺栓、滑块、连接杆、支撑板、支撑杆组成的支撑螺纹连接体,由椭圆形壳体、盖体和感应薄膜组成的心音探头壳体以及设置于心音探头壳体内的MEMS声传感器微结构。本发明电子听诊器设计科学,结构合理,体积小巧美观,成本低廉,加工简单易于批量生产,使用操作方便稳定,检测灵敏度高,抗干扰能力强、信噪比高、可靠性高、带宽高、检测效果好,值得推广使用。

    心音图仪电声指标的测试系统及其测试方法

    公开(公告)号:CN119587064A

    公开(公告)日:2025-03-11

    申请号:CN202411174054.X

    申请日:2024-08-26

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种心音图仪电声指标的测试系统及其测试方法,属于心音图仪技术领域。本发明系统包括心音图仪、信号发生器、功率放大器、声源校准器、标准传感器、信号采集卡和上位机测试模块,信号发生器与功率放大器连接形成测试声源,声源校准器对测试声源进行校准;标准传感器和心音图仪放置在同一位置,用来接收测试声源发出的信号,并将接受到的声音信号转变为电信号;信号采集卡分别与标准传感器和心音图仪连接,用来将电信号转变为数字信号;上位机测试模块与信号采集卡连接,用来将转变后的数字信号进行处理和分析,以测量心音图仪信噪比和频率响应,并进行灵敏度测试。本发明系统可以快速、便捷地测试心音图仪的电声指标。

    基于PDMS-硅纳米膜的柔性心音传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114955980B

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202210612658.2

    申请日:2022-06-01

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于PDMS‑硅纳米膜的柔性心音传感器,属于半导体技术领域。该传感器由硅纳米膜和柔性基底PDMS组成,硅纳米膜包括压阻区、欧姆接触区和合金区,合金区的材质为铬和金的合金。制备时在SOI片的上方形成氧化层,经过浓硼扩散后形成欧姆接触区,刻蚀顶层硅后形成压阻区,溅射、腐蚀金属并退火后形成合金区,刻蚀并腐蚀埋氧层后形成屋檐结构,钻蚀埋氧层后形成悬空的硅纳米膜结构,最终将硅纳米膜转印到柔性基底PDMS上。该传感器具有较高的灵敏度,同时由于柔性基底PDMS,增加了传感器的适应性和便捷性。

    基于MEMS技术的磁感式电子听诊器探头

    公开(公告)号:CN111870275B

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202010720086.0

    申请日:2020-07-24

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于MEMS技术的磁感式电子听诊器探头,解决了目前心音传感器存在灵敏度和信噪比相互制约的问题。本发明电子听诊器探头包括依次榫卯嵌套在一起的负压囊、心音探头壳体、连接体、芯片封装壳体、MEMS声传感器微结构和感应薄膜,感应薄膜上设置有磁体。本发明电子听诊器探头将心音信号从外界环境振动噪声中转化分离出来,进行专一性检测,降低了环境噪声对心音信号检测的影响,提高了其抗干扰能力,使得心音检测精准性提高。同时,由于传感器获取到的心音信号为原始信号,从而降低了后端信号处理电路和消噪算法的难度。

    基于拍型仿生纤毛的高灵敏度MEMS心音心电一体化检测传感器

    公开(公告)号:CN113331863A

    公开(公告)日:2021-09-03

    申请号:CN202110701358.7

    申请日:2021-06-24

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于拍型仿生纤毛的高灵敏度MEMS心音心电一体化检测传感器,其包括主要由探头壳体、MEMS声传感器微结构、心音心电一体化电路和信号采集卡组成,MEMS声传感器微结构上设置有拍型仿生纤毛用于检测心音信号,探头壳体上的心电电极用于检测心电信号,二者将检测到的信号传输给心音心电一体化电路进行处理,处理后再传输给信号采集卡。本发明具有设计科学、结构合理、操作简便、携带方便、检测灵敏、成本低、可批量加工、心音心电同步检测等优点,和传统传感器探头相比检测心音与心电信号更加准确、快速和方便。

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