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公开(公告)号：CN103900545B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410105276.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明公开了一种单片集成全对称三轴硅微音叉陀螺仪，其结构形式为四方全对称结构，主要包括驱动模块、驱动检测模块、航向角检测模块、俯仰角检测模块、横滚角检测模块以及相应的耦合折叠梁、工字型梁、T型梁、U型梁等组成部分。所设计四方全对称三轴硅微陀螺仪在每个方向上都具有相同的结构，四边的四个大框架通过对角处的耦合折叠梁实现连接支撑，这种对称的结构设计以及对角处的耦合连接保证了陀螺仪工作时的音叉效果。本发明的单片集成三轴硅微陀螺仪可以同时测量航向、俯仰、横滚三个方向的角速度，其中驱动检测模态与航向角检测模态同其他模态之间实现了解耦。
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公开(公告)号：CN103115617B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201310017352.3
申请日：2013-01-17
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/02
Abstract: 本发明公开了一种静态电容可调式微动调陀螺仪精密装配体结构，包括滑轮式底座、电机座、下电极支架、上电极支架、转子下托片、转子上压片、垫圈、轴承座、轴承零件、电机、电机轴、陀螺转子、上电极、下电极和尼龙，所述电机固定在电机座上，电机座与滑轮式底座装配，所述电机座与下电极支架通过螺纹装配，下电极支架上固定有与陀螺转子间距可旋转调节的下电极，且下电极支架外围设有刻度，所述垫圈和上电极支架固定在下电极支架上。本发明可以使用不同厚度的垫圈调节上极板与转子体的间距，从而调节其静态电容的大小。下电极支架还可放置微机电接口电路板，减小引线长度，提高信号抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN103144427A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310065468.4
申请日：2013-03-01
Applicant: 东南大学
IPC: B41F23/08
Abstract: 本发明公开一种温度可调式双回路多通道宽幅膜压机用版辊，包括主轴体、油路轴、水路轴、油路通道、水路通道、油路出管、水路进管、水路出管和隔离板，主轴体为中空结构，包括内腔和轴壁；油路通道和水路通道设在主轴体的轴壁内，油路轴和水路轴分别对称设在主轴体的两端，油路轴与主轴体的内腔相通，主轴体的轴壁内侧设有使主轴体的内腔与油路通道相通的连通孔，形成依次从油路轴、主轴体的内腔、连通孔、油路通道、油路出管到油路轴的油路回路，水路通道分别和水路进管和水路出管相通，形成依次从水路轴、水路进管、水路通道、水路出管到水路轴的水路回路；隔离板设在主轴体的内腔和水路轴之间。本发明应用范围广泛，可满足不同的性能指标要求。
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公开(公告)号：CN103398707B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201310177008.0
申请日：2013-05-14
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种三片组装式硅基超薄微半球谐振陀螺仪，包括第一硅片、第二硅片、第三硅片、微半球壳、驱动电极和检测电极，第一硅片设在第二硅片的上方、第三硅片设在第二硅片的下方；微半球壳设在第一硅片和第二硅片之间，微半球壳壳底与第二硅片固定连接，上边缘与第一硅片的下表面接触；驱动电极设在微半球壳的外围，一端与第三硅片固定连接，另一端穿过第二硅片与第一硅片活动连接；检测电极一端与第一硅片固定连接，另一端与微半球壳内壁活动连接。本发明三片组装式硅基超薄微半球谐振陀螺仪体积小，重量轻，成本低，可靠性高，功耗小，可批量生产，用于航空、汽车、医疗、摄影、电子消费等领域，具有极为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN103144427B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201310065468.4
申请日：2013-03-01
Applicant: 东南大学
IPC: B41F23/08
Abstract: 本发明公开一种温度可调式双回路多通道宽幅膜压机用版辊，包括主轴体、油路轴、水路轴、油路通道、水路通道、油路出管、水路进管、水路出管和隔离板，主轴体为中空结构，包括内腔和轴壁；油路通道和水路通道设在主轴体的轴壁内，油路轴和水路轴分别对称设在主轴体的两端，油路轴与主轴体的内腔相通，主轴体的轴壁内侧设有使主轴体的内腔与油路通道相通的连通孔，形成依次从油路轴、主轴体的内腔、连通孔、油路通道、油路出管到油路轴的油路回路，水路通道分别和水路进管和水路出管相通，形成依次从水路轴、水路进管、水路通道、水路出管到水路轴的水路回路；隔离板设在主轴体的内腔和水路轴之间。本发明应用范围广泛，可满足不同的性能指标要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104698222A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201510083131.5
申请日：2015-02-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开一种三轴单片集成谐振电容式硅微加速度计，包括玻璃基底以及键合锚点悬浮设置于玻璃基底表面中心位置的主结构；主结构包括敏感质量块框、安装于敏感质量块框中心位置的两个扭摆式质量块、电容梳齿组和四个谐振器；两个扭摆式质量块纵向排列放置，且每个扭摆式质量块均由两个质量摆横向连接构成，且每个扭摆式质量块的左右两侧分别设置有电容梳齿组；四个谐振器分别通过杠杆机构安装于敏感质量块框四个顶角的外侧；玻璃基底上设有与主结构电极相连的信号引线。本发明在X、Y、Z三个方向的加速度测量时均进行了差分输出，提高检测精度，并且X、Y轴采用谐振式，Z轴采用电容式成本低，本发明中的加工方法简单可大批量生产。
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公开(公告)号：CN104698222B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510083131.5
申请日：2015-02-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开一种三轴单片集成谐振电容式硅微加速度计，包括玻璃基底以及键合锚点悬浮设置于玻璃基底表面中心位置的主结构；主结构包括敏感质量块框、安装于敏感质量块框中心位置的两个扭摆式质量块、电容梳齿组和四个谐振器；两个扭摆式质量块纵向排列放置，且每个扭摆式质量块均由两个质量摆横向连接构成，且每个扭摆式质量块的左右两侧分别设置有电容梳齿组；四个谐振器分别通过杠杆机构安装于敏感质量块框四个顶角的外侧；玻璃基底上设有与主结构电极相连的信号引线。本发明在X、Y、Z三个方向的加速度测量时均进行了差分输出，提高检测精度，并且X、Y轴采用谐振式，Z轴采用电容式成本低，本发明中的加工方法简单可大批量生产。
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公开(公告)号：CN103322994B
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201310176936.5
申请日：2013-08-01
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691 , B81B7/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开一种双片集成式硅基超薄微半球谐振陀螺仪，包括第一硅片、第二硅片、微半球壳、驱动电极和检测电极，所述微半球壳设在第一硅片和第二硅片之间，微半球壳壳底与第二硅片固定连接，微半球壳上边缘与第一硅片的下表面接触；所述驱动电极设在第一硅片和第二硅片之间、微半球壳的外围，驱动电极一端与第二硅片固定连接，另一端与第一硅片活动连接；所述检测电极一端与第一硅片固定连接，另一端与微半球壳内壁活动连接。本发明双片集成式硅基超薄微半球谐振陀螺仪体积小，重量轻，成本低，可靠性高，功耗小，可批量生产等优点，预期可广泛用于航空、汽车、医疗、摄影、电子消费等领域，具有极为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN103398707A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310177008.0
申请日：2013-05-14
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种三片组装式硅基超薄微半球谐振陀螺仪，包括第一硅片、第二硅片、第三硅片、微半球壳、驱动电极和检测电极，第一硅片设在第二硅片的上方、第三硅片设在第二硅片的下方；微半球壳设在第一硅片和第二硅片之间，微半球壳壳底与第二硅片固定连接，上边缘与第一硅片的下表面接触；驱动电极设在微半球壳的外围，一端与第三硅片固定连接，另一端穿过第二硅片与第一硅片活动连接；检测电极一端与第一硅片固定连接，另一端与微半球壳内壁活动连接。本发明三片组装式硅基超薄微半球谐振陀螺仪体积小，重量轻，成本低，可靠性高，功耗小，可批量生产，用于航空、汽车、医疗、摄影、电子消费等领域，具有极为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN103115617A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310017352.3
申请日：2013-01-17
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/02
Abstract: 本发明公开了一种静态电容可调式微动调陀螺仪精密装配体结构，包括滑轮式底座、电机座、下电极支架、上电极支架、转子下托片、转子上压片、垫圈、轴承座、轴承零件、电机、电机轴、陀螺转子、上电极、下电极和尼龙，所述电机固定在电机座上，电机座与滑轮式底座装配，所述电机座与下电极支架通过螺纹装配，下电极支架上固定有与陀螺转子间距可旋转调节的下电极，且下电极支架外围设有刻度，所述垫圈和上电极支架固定在下电极支架上。本发明可以使用不同厚度的垫圈调节上极板与转子体的间距，从而调节其静态电容的大小。下电极支架还可放置微机电接口电路板，减小引线长度，提高信号抗干扰能力。
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