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公开(公告)号：CN111551162B
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202010347080.3
申请日：2020-04-28
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种用于常压封装MEMS陀螺仪解调相角补偿的系统和方法，该系统包括陀螺仪驱动闭环回路、检测模态驱动与检测模块、补偿模块、信号检测模块；陀螺仪驱动闭环回路跟踪MEMS陀螺仪的驱动模态谐振频率ωx并产生ωx的正弦波信号sinωxt与sin(2ωxt)，并将sin(2ωxt)输出至补偿模块与检测模态驱动与检测模块；补偿模块基于sin(2ωxt)产生解调相角补偿量并输出至驱动闭环模块以产生相角补偿后的解调正弦波与信号检测模块基于与产生经补偿的哥氏输出信号与正交输出信号，经补偿的哥氏输出信号避免了正交输入信号的干扰。本发明基于陀螺仪力反馈检测梳齿可有效降低正交信号对哥氏信号的干扰，能够提升陀螺仪哥氏信号的噪声性能。
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公开(公告)号：CN110631570B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201910986071.6
申请日：2019-10-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种用于提升硅微陀螺仪标度因数温度稳定性的系统和方法，该系统包括驱动闭环回路、检测闭环回路和标度因数温度补偿模块；驱动闭环回路产生硅微陀螺仪的驱动模态谐振频率ωx和ωx的正弦信号sinωxt，并将ωx和sinωxt分别输出至标度因数温度补偿模块和检测闭环回路；检测闭环回路基于sinωxt产生未经标度因数温度补偿的角速度信号，并输入至标度因数温度补偿模块；标度因数温度补偿模块基于ωx对未经标度因数温度补偿的角速度信号进行标度因数温度补偿，并产生经补偿的角速度输出信号；经补偿的角速度输出信号与ωx无关。本发明基于陀螺仪力反馈闭环检测模式实现标度因数温度补偿，能够提升陀螺仪标度因数的温度稳定性。
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公开(公告)号：CN111551162A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010347080.3
申请日：2020-04-28
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种用于常压封装MEMS陀螺仪解调相角补偿的系统和方法，该系统包括陀螺仪闭环驱动模块、检测模态驱动与检测模块、补偿模块、信号检测模块；陀螺仪闭环驱动模块跟踪MEMS陀螺仪的驱动模态谐振频率ωx并产生ωx的正弦波信号sinωxt与sin(2ωxt)，并将sin(2ωxt)输出至补偿模块与检测模态驱动与检测模块；补偿模块基于sin(2ωxt)产生解调相角补偿量 并输出至驱动闭环模块以产生相角补偿后的解调正弦波 与 信号检测模块基于 与产生经补偿的哥氏输出信号与正交输出信号，经补偿的哥氏输出信号避免了正交输入信号的干扰。本发明基于陀螺仪力反馈检测梳齿可有效降低正交信号对哥氏信号的干扰，能够提升陀螺仪哥氏信号的噪声性能。
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公开(公告)号：CN110631570A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910986071.6
申请日：2019-10-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种用于提升硅微陀螺仪标度因数温度稳定性的系统和方法，该系统包括驱动闭环回路、检测闭环回路和标度因数温度补偿模块；驱动闭环回路产生硅微陀螺仪的驱动模态谐振频率ωx和ωx的正弦信号sinωxt，并将ωx和sinωxt分别输出至标度因数温度补偿模块和检测闭环回路；检测闭环回路基于sinωxt产生未经标度因数温度补偿的角速度信号，并输入至标度因数温度补偿模块；标度因数温度补偿模块基于ωx对未经标度因数温度补偿的角速度信号进行标度因数温度补偿，并产生经补偿的角速度输出信号；经补偿的角速度输出信号与ωx无关。本发明基于陀螺仪力反馈闭环检测模式实现标度因数温度补偿，能够提升陀螺仪标度因数的温度稳定性。
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