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公开(公告)号：CN110854038B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910773774.0
申请日：2019-08-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置和该装置中的外部空气漏入部位确定方法，有利于外部空气漏入部位的确定。基板处理装置具有：采样配管，其在装载区域内从针对具有外部空气漏入的可能性的多个外部空气可能漏入部位设定的多个采样端口延伸设置；氧浓度计，其与采样配管连通；多联式的自动开闭阀，其位于与各个采样端口对应的位置；吹扫机构，其向装载区域内吹扫非活性气体；以及控制器，其中，控制器针对全部的采样端口执行将多个自动开闭阀中的一个打开且将其它多个自动开闭阀关闭的切换控制，从氧浓度计接收与在各切换控制后打开的自动开闭阀对应的采样端口的氧浓度测量信号，并将浓度测量值和浓度阈值进行比较。
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公开(公告)号：CN110854038A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201910773774.0
申请日：2019-08-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置和该装置中的外部空气漏入部位确定方法，有利于外部空气漏入部位的确定。基板处理装置具有：采样配管，其在装载区域内从针对具有外部空气漏入的可能性的多个外部空气可能漏入部位设定的多个采样端口延伸设置；氧浓度计，其与采样配管连通；多联式的自动开闭阀，其位于与各个采样端口对应的位置；吹扫机构，其向装载区域内吹扫非活性气体；以及控制器，其中，控制器针对全部的采样端口执行将多个自动开闭阀中的一个打开且将其它多个自动开闭阀关闭的切换控制，从氧浓度计接收与在各切换控制后打开的自动开闭阀对应的采样端口的氧浓度测量信号，并将浓度测量值和浓度阈值进行比较。
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