公开(公告)号：CN102009033A

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：CN201010272876.3

申请日：2010-09-06

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 池森一博

IPC: B05D3/02 ,  B05C5/00 ,  B05C13/02 ,  B05C9/14

Abstract: 本发明提供一种预干燥装置及预干燥方法，该装置及方法能够抑制形成于涂布膜的斑点且能够缩短干燥工序所需要的处理时间。该预干燥装置在通过对涂布在基板上的涂布膜进行干燥的主干燥装置而使涂布膜干燥之前，对所述涂布膜进行预干燥，其特征在于，该预干燥装置通过浮起输送方式对基板进行输送的同时，利用进行加热的用来浮起基板的气体在高温环境下对该基板进行暴晒，由此对基板上的涂布膜进行预干燥。

公开(公告)号：CN106040530A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610144177.8

申请日：2016-03-14

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 奥田大辅 ,  池森一博

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10

CPC classification number: B05C5/0254 ,  B05C5/0208 ,  B05C11/1044

Abstract: 本发明提供一种涂布装置及涂布方法，通过所述涂布装置及涂布方法进行混合时，能够使容易凝集的两种液不发生凝集地混合，并将其涂布于基板而形成薄膜。该涂布装置(1)包括：管道(7a)，供给涂布液(a)；管道(7b)，供给涂布液(b)；混合装置(4)，对来自管道(7a)和管道(7b)的涂布液(a)和涂布液(b)进行混合；过滤装置(5)，对在混合装置(4)生成的混合涂布液(c)进行过滤；接口管(3)，其中形成有用于排出被混合和过滤的混合涂布液(c)的狭缝，通过从狭缝排出混合涂布液(c)来将混合涂布液(c)涂布在基板(W)上，从而在基板(W)上形成薄膜。

公开(公告)号：CN105928324A

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201610090240.4

申请日：2016-02-17

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 伊藤祯彦 ,  池森一博

IPC: F26B5/04 ,  H01L21/02

CPC classification number: F26B5/04 ,  F26B5/042 ,  H01L21/02318

Abstract: 提供一种减压干燥装置和基板处理系统。在具有多级腔室式减压干燥装置的片状基板用干燥装置中，利用单一的真空泵应对所有腔室的减压动作。减压干燥装置具有：多个减压用腔室；单一的真空泵，该真空泵的进气口经由配管与各腔室连接；阀，其控制各腔室的排气和减压状态，且与所述各腔室对应地分别设置于所述配管；以及控制装置，其根据预先设定的减压序列控制各阀。