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公开(公告)号：CN104911706B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201510328712.0
申请日：2015-06-15
Applicant: 上海应用技术学院
CPC classification number: C23C18/1258
Abstract: 本发明一种超快闪烁ZnO薄膜的制备方法，包括一个酸处理单晶硅片的步骤，量取浓硫酸和浓磷酸，将浓硫酸和浓磷酸混合后，加热，将单晶硅片放入其中，保持温度持续10~40min，然后自然冷却，取出单晶硅片，先采用乙醇清洗，然后采用超声波清洗，最后吹干，将上述处理后的单晶硅片作为衬底材料，采用磁控溅射薄膜沉积技术，在衬底上制备一层厚度为40~60nm的ZnO薄膜作为籽晶层,在上述ZnO籽晶层上采用超声喷雾热解法沉积ZnO薄膜，雾气输送载气为N2，沉积温度范围为370‑390oC，ZnO薄膜的厚度为150‑250nm。通过本发明的法得到的ZnO薄膜具有（002）择优取向特征、强紫外发射和超快闪烁性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104658887A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201510013617.1
申请日：2015-01-12
Applicant: 上海应用技术学院
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/02005 , H01L21/02019
Abstract: 本发明公开一种a面蓝宝石的刻蚀方法，即首先将a面蓝宝石在加热到温度160℃的由浓硫酸和浓磷酸组成的混合酸中保持20min，然后自然冷却，将混合酸倒出来，最后取出a面蓝宝石依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，即得经酸处理后的a面蓝宝石；将片状固体NaOH加热至温度为325-340℃至其全部融化澄清，将所得的经酸处理后的a面蓝宝石放入其中，保持温度为325-340℃持续10min后，直接用镊子立刻取出a面蓝宝石或将烧杯中的NaOH迅速倒出来后将a面蓝宝石取出，再依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，即完成了a面蓝宝石的刻蚀。该刻蚀方法所得a面蓝宝石品质优良。
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公开(公告)号：CN104651948A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201510013477.8
申请日：2015-01-12
Applicant: 上海应用技术学院
IPC: C30B33/10
Abstract: 本发明公开一种c面蓝宝石的刻蚀方法，即首先将c面蓝宝石在25℃的由氢氟酸和水组成的混合液中保持20min后取出，依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，即得经氢氟酸处理后的c面蓝宝石；然后将经氢氟酸处理后的c面蓝宝石在温度160℃的由浓硫酸和浓磷酸组成的混合酸中保持20min后自然冷却，取出c面蓝宝石依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，得经混合酸处理后的c面蓝宝石；最后将所得的经混合酸处理后的c面蓝宝石放入到温度325-340℃的片状NaOH融化液中保持10min后，取出c面蓝宝石再依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，即完成了c面蓝宝石的刻蚀。该刻蚀方法具有刻蚀效果好，均匀性好，品质良好，良率高等优点。
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公开(公告)号：CN104658887B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201510013617.1
申请日：2015-01-12
Applicant: 上海应用技术学院
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明公开一种a面蓝宝石的刻蚀方法，即首先将a面蓝宝石在加热到温度160℃的由浓硫酸和浓磷酸组成的混合酸中保持20min，然后自然冷却，将混合酸倒出来，最后取出a面蓝宝石依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，即得经酸处理后的a面蓝宝石；将片状固体NaOH加热至温度为325‑340℃至其全部融化澄清，将所得的经酸处理后的a面蓝宝石放入其中，保持温度为325‑340℃持续10min后，直接用镊子立刻取出a面蓝宝石或将烧杯中的NaOH迅速倒出来后将a面蓝宝石取出，再依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，即完成了a面蓝宝石的刻蚀。该刻蚀方法所得a面蓝宝石品质优良。
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公开(公告)号：CN104651948B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201510013477.8
申请日：2015-01-12
Applicant: 上海应用技术学院
IPC: C30B33/10
Abstract: 本发明公开一种c面蓝宝石的刻蚀方法，即首先将c面蓝宝石在25℃的由氢氟酸和水组成的混合液中保持20min后取出，依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，即得经氢氟酸处理后的c面蓝宝石；然后将经氢氟酸处理后的c面蓝宝石在温度160℃的由浓硫酸和浓磷酸组成的混合酸中保持20min后自然冷却，取出c面蓝宝石依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，得经混合酸处理后的c面蓝宝石；最后将所得的经混合酸处理后的c面蓝宝石放入到温度325‑340℃的片状NaOH融化液中保持10min后，取出c面蓝宝石再依次经酒精清洗、超声清洗、吹干，即完成了c面蓝宝石的刻蚀。该刻蚀方法具有刻蚀效果好，均匀性好，品质良好，良率高等优点。
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公开(公告)号：CN104911706A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510328712.0
申请日：2015-06-15
Applicant: 上海应用技术学院
CPC classification number: C23C18/1258
Abstract: 本发明一种超快闪烁ZnO薄膜的制备方法，包括一个酸处理单晶硅片的步骤，量取浓硫酸和浓磷酸，将浓硫酸和浓磷酸混合后，加热，将单晶硅片放入其中，保持温度持续10~40min，然后自然冷却，取出单晶硅片，先采用乙醇清洗，然后采用超声波清洗，最后吹干，将上述处理后的单晶硅片作为衬底材料，采用磁控溅射薄膜沉积技术，在衬底上制备一层厚度为40~60nm的ZnO薄膜作为籽晶层,在上述ZnO籽晶层上采用超声喷雾热解法沉积ZnO薄膜，雾气输送载气为N2，沉积温度范围为370-390oC，ZnO薄膜的厚度为150-250nm。通过本发明的法得到的ZnO薄膜具有（002）择优取向特征、强紫外发射和超快闪烁性能。
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