公开(公告)号：CN1220252C

公开(公告)日：2005-09-21

申请号：CN02152815.2

申请日：2002-11-25

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 花崎稔 ,  菅原庆一 ,  野口利彦 ,  米村俊雄 ,  泷正和 ,  津田睦 ,  新谷贤治

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/205 ,  C23F4/00 ,  H05H1/00

CPC classification number: H01J37/32082 ,  H01J37/32935

Abstract: 等离子体处理装置的高频电流检测器检测高频电源将在室内不发生等离子体的高频功率供给室时的高频电流，将该检测出的高频电流输出给计算机。计算机将从高频电流检测器接受的高频电流与成为基准的高频电流进行比较，当两个高频电流一致时，将等离子体处理装置的工艺性能评价为正常，当两个高频电流不一致时，将工艺性能评价为异常。其结果，能检测装置固有的高频特性，根据该检测出的高频特性来评价工艺性能。

公开(公告)号：CN1447398A

公开(公告)日：2003-10-08

申请号：CN02152815.2

申请日：2002-11-25

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 花崎稔 ,  菅原庆一 ,  野口利彦 ,  米村俊雄 ,  泷正和 ,  津田睦 ,  新谷贤治

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/205 ,  C23F4/00 ,  H05H1/00

CPC classification number: H01J37/32082 ,  H01J37/32935

Abstract: 等离子体处理装置的高频电流检测器检测高频电源将在室内不发生等离子体的高频功率供给室时的高频电流，将该检测出的高频电流输出给计算机。计算机将从高频电流检测器接受的高频电流与成为基准的高频电流进行比较，当两个高频电流一致时，将等离子体处理装置的工艺性能评价为正常，当两个高频电流不一致时，将工艺性能评价为异常。其结果，能检测装置固有的高频特性，根据该检测出的高频特性来评价工艺性能。