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公开(公告)号：CN116194239B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202180062857.4
申请日：2021-06-30
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00
Abstract: 激光装置(100)具有：激光振荡器(101)；声光调制部(102)，其具有如果被施加第1超声波则使来自激光振荡器(101)的激光衍射的第1声光调制器(3)、及如果被施加第2超声波则使从第1声光调制器(3)输出的高次光衍射的第2声光调制器(4)，相对于由第1声光调制器(3)射出的高次光的衍射方向(D1)的第1超声波的传输方向(S1)与相对于由第2声光调制器(4)射出的高次光的衍射方向(D2)的第2超声波的传输方向(S2)不同；以及放大器(103)，其使来自声光调制部的激光放大。
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公开(公告)号：CN105075035B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201480017479.8
申请日：2014-03-06
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/036
CPC classification number: H01S3/02 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0385 , H01S3/2232
Abstract: 本发明涉及通过激光气体的激励而产生激光的气体激光器装置，具有用于封入激光气体的框体。框体具有：主体部(10)，其具有在两侧形成了开口部的框状构造；以及一对盖部件(30)，其以覆盖各开口部的方式可自由装卸地安装。主体部(10)具有：上板(12)及下板(13)，其沿激光的光轴延伸；以及一对侧板(11)，其分别将上板(12)及下板(13)的两端连结。各盖部件(30)具有：局部圆筒部件(31)，其在与光轴垂直的平面内具有圆弧状的剖面形状，沿光轴延伸；以及一对侧壁部件(32)，其对局部圆筒部件(31)的两端进行闭塞。局部圆筒部件(31)具有将高部和低部沿光轴相连地成型而得到的波纹部(4)。通过上述结构，即使框体大型化，也能够实现轻量且低成本的盖构造。
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公开(公告)号：CN100474715C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200610114912.7
申请日：2006-08-10
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明提供可缓和振荡器箱体的真空状态时的应力，具有用于维护的面积大、容易制造的盖构件的气体激光器振荡器。具有闭塞气体激光器振荡器(100)的箱体(11)的开口部的盖构件(12)，在盖构件(12)形成朝箱体内部侧隆起的作为曲面部的圆顶形状部(31)，在盖构件(12)的4个端边与圆顶形状部(31)间的区域形成朝箱体主构造(11)的内部侧突出的作为凸起部的三角形凸构造部(32)，在盖构件(12)的端边形成朝箱体外部侧突出的侧壁(33)。
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公开(公告)号：CN101046540A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200610163149.7
申请日：2006-11-29
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G02B7/1821 , G02B7/1825
Abstract: 本发明提供的激光振荡器，即使反射镜保持部的、与反射镜接触的面的加工精度不高，也能将反射镜的变形量控制在容许范围内地安装反射镜。备有：反射激光的圆形反射镜(1)、保持反射镜的保持座(2)、从反射面一侧将反射镜(1)推压固定在保持座(2)上的弹性部件即螺旋弹簧(16)。螺旋弹簧(16)，用根据反射镜(1)的质量、厚度、半径、纵弹性率、反射镜(1)与保持座(2)间的摩擦系数、激光波长及重力加速度的公式导出的推压力(F)，推压反射镜(1)。
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公开(公告)号：CN1763580A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510072732.2
申请日：2005-05-18
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种宽视场角、廉价、高变倍比且更小型亦即薄型的变倍透镜。根据本发明技术方案的变倍透镜，自物方侧始按以下顺序具有第1透镜组(G1)、第2透镜组(G2)和第3透镜组(G3)。其中，第1透镜组(G1)配备了具有负光焦度的第1透镜(1)和位于第1透镜的后段、弯折光路且具有正光焦度的棱镜(2)。此外，第1透镜(1)的阿贝数大于棱镜(2)的阿贝数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113165117A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201880099853.1
申请日：2018-12-03
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 对由包含母材和导热率及加工阈值高于玻璃纤维的物性值的纤维在内的纤维强化复合材料构成的加工对象物进行激光加工的加工方法。激光加工方法包含下述工序，即，一边使加工对象物和加工头在预先确定的切断方向上相对移动，一边从加工头将脉冲激光(1)照射至加工对象物而形成将加工对象物贯通的多个贯通孔，由此对加工对象物进行加工。脉冲激光(1)的脉宽小于1ms，脉冲激光(1)具有能够通过1个脉冲形成贯通孔的能量密度。
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公开(公告)号：CN107534262B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201680023276.9
申请日：2016-04-20
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 对于在基座框架上经由运动学安装件搭载有放大装置的激光器装置、和使用该激光器装置的极端远紫外(EUV)装置，使得即使在运动学安装件的构造中产生热膨胀及收缩，光轴也不变化，不会发生激光器的品质恶化的情况。运动学安装件(31～33)由具有0自由度、1自由度及2自由度的3点(O，A，B)构成，从与由上述3点构成的平面垂直的方向观察，激光(18)的向放大装置(28)射入的入射光轴或者从放大装置射出的出射光轴的延长线(SU、CT)朝向0自由度的点(O)，1自由度的点(A)的行进方向朝向0自由度的点(O)，相比于1自由度的点(A)的一侧，光轴的延长线从所述2自由度的点(B)的一侧通过。
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公开(公告)号：CN108475895A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201780006760.5
申请日：2017-01-10
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/10 , B23K26/064 , B23K26/067 , G02B5/18 , G02B5/30 , H01S3/00
CPC classification number: B23K26/064 , B23K26/067 , G02B5/18 , G02B5/30 , H01S3/00 , H01S3/10
Abstract: 得到能够容易地进行向被加工物的稳定的激光加工的激光加工装置、及在该激光加工装置中使用的用于激光的功率平衡装置。用于激光的功率平衡装置具有：偏振相位差板，其在相对的一对主面的一个主面侧，形成有由与基板材料相同的材料构成的多个凸部以设定周期P分别平行地直线状延伸的衍射光栅，形成为能够利用所述衍射光栅的构造性双折射，被射入远红外光的激光，且所述衍射光栅的所述周期P满足P＜λ/n(λ是入射光的波长，n是所述基板材料的折射率)；以及旋转机构，其使所述偏振相位差板旋转。
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公开(公告)号：CN101971441A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200880128079.9
申请日：2008-03-18
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01S3/025 , G02F1/37 , H01S3/0092 , H01S3/042 , H01S3/09415
Abstract: 在构成具备搭载了固体激光器元件、激励光源和波长变换元件的散热器、以及支撑散热器的晶体管管座的激光光源模块时，将散热器分割成3个块、即在上表面搭载了固体激光器元件用的激光振荡部的第1块、在上表面搭载了射出激光振荡部用的激励光的半导体激光器元件和第1温度传感器并在规定的面搭载了第1加热器的第2块、以及在上表面搭载了对激光振荡部振荡出的基波激光进行波长变换的波长变换元件和第2温度传感器并在规定的面搭载了第2加热器的第3块，仅将第2块利用该第2块的侧面或者底面而固定到晶体管管座，在第2块的另一个侧面固定第1块，在第1块的侧面固定第3块，从而实现小型化以及各元件的位置精度的提高。
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公开(公告)号：CN111656250B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201980009412.2
申请日：2019-01-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02B26/10 , B23K26/082 , G02B26/08
Abstract: 电扫描器(100)的特征在于，具有：轴(22)，其以中心轴线为中心进行旋转；圆筒部，其形成供轴(22)插入的插入孔；固定部，其从圆筒部的外周沿圆筒部的径向延伸；光栅板(50)，其在表面形成光学图案，固定于固定部；以及凸起部，其形成在相对于中心轴线(60)而成为固定部的相反侧的位置，沿外周的径向延伸。
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