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公开(公告)号：CN114660897A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202111572845.4
申请日：2021-12-21
Applicant: 三星SDI株式会社
Inventor： 元东勋 , 兪龙植 , 李贤洙 , 崔世一 , 崔熙瑄
IPC: G03F7/11 , G03F7/00
Abstract: 本发明涉及一种包含聚合物及溶剂的硬掩模组合物以及一种使用所述硬掩模组合物形成图案的方法，所述聚合物包含衍生自由化学式1表示的化合物的部分。在化学式1中，X1到X3、A1到A3及L1到L3的定义如说明书中所阐述。[化学式1]。
