光学发射光谱仪的校准器

    公开(公告)号:CN110320183B

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN201910160116.4

    申请日:2019-03-04

    Abstract: 提供了一种光学发射光谱仪(OES)的校准器。该OES的校准器可以包括盖、参考光源和控制器。盖可以与等离子体处理设备的等离子体腔室的顶板可拆卸地结合。参考光源可以安装在盖处,以通过等离子体腔室的内部空间向OES照射参考光。控制器可以将入射到OES的参考光的光谱与在等离子体腔室中的等离子体处理期间输入到OES的实际光的光谱进行比较以校准OES。因此,可以在不从等离子体室拆卸OES的情况下校准OES,以减少用于校准OES的时间。

    光学发射光谱仪的校准器

    公开(公告)号:CN110320183A

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201910160116.4

    申请日:2019-03-04

    Abstract: 提供了一种光学发射光谱仪(OES)的校准器。该OES的校准器可以包括盖、参考光源和控制器。盖可以与等离子体处理设备的等离子体腔室的顶板可拆卸地结合。参考光源可以安装在盖处,以通过等离子体腔室的内部空间向OES照射参考光。控制器可以将入射到OES的参考光的光谱与在等离子体腔室中的等离子体处理期间输入到OES的实际光的光谱进行比较以校准OES。因此,可以在不从等离子体室拆卸OES的情况下校准OES,以减少用于校准OES的时间。

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