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公开(公告)号:CN101114120A
公开(公告)日:2008-01-30
申请号:CN200610137180.3
申请日:2006-10-23
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 赵成训 , 赵映泰 , 李锡原 , 朴宣美 , 沈盈硕 , 朴正扜 , 金桢吉
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明公开了一种压模、用于制造该压模的方法以及利用该压模的基底的压印工艺。该压模能够抑制变形如收缩和膨胀,以提高具有刻在其上的精细图案的压模的尺寸准确度以及基底与压模的排列精确度。该压模包括:压模体,具有预定图案;加强部分,设置在压模体上,以加强压模体。