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公开(公告)号：CN115775714A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211053783.0
申请日：2022-08-30
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01L21/66
Abstract: 提供了扫描电子显微镜(SEM)装置和半导体制造装置。该SEM装置包括：电子束源，其被配置为发射电子束；透镜单元，其设置在电子束源与被配置为安置包括具有图案的结构的物体的台之间，并且包括扫描线圈和像散调节器，扫描线圈被配置为生成电磁场以提供透镜；以及控制单元。控制单元被配置为改变透镜单元与物体之间的工作距离以获得多个原始图像，从多个原始图像获得其中出现结构的图案图像和其中出现电子束在物体上的分布的多个核心图像，并且利用从多个核心图像提取的特征值来控制像散调节器调节透镜单元的聚焦和像散。
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