公开(公告)号：CN1533420A

公开(公告)日：2004-09-29

申请号：CN02814368.X

申请日：2002-11-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金男寿 ,  林永 ,  姜景汶 ,  李东峻 ,  全相文 ,  李世哲 ,  苏在贤

IPC: C09G1/16 ,  C08L101/00

CPC classification number: H01L21/31053 ,  C08L101/02 ,  C09G1/02

Abstract: 一种用于淤浆的添加剂组合物，包括含具有第一重均分子量的第一聚合酸和第一碱性材料的第一聚合酸盐；和含具有第二重均分子量的第二聚合酸和第二碱性材料的第二聚合酸盐。通过混合添加剂组合物、抛光粒子组合物和水制备淤浆组合物。当使用该淤浆组合物进行化学机械抛光时，可实现有利的抛光选择性。