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公开(公告)号:CN1540033A
公开(公告)日:2004-10-27
申请号:CN200410032705.8
申请日:2004-04-13
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 李澔
IPC: C23C16/44
CPC classification number: C23C16/45565 , C23C16/455 , C23C16/45591 , C23C16/5096
Abstract: 本发明提供一种化学汽相淀积装置,其包括:箱体;基座,位于该箱体内,安装玻璃面板;扩散器,将该箱体内部分割成上部空间和下部空间,具有连接上部空间和下部空间的多个喷射孔;气体注入管,通过扩散器的喷射孔,向箱体内注入气体;以及陶瓷结构,安装在箱体和扩散器之间;其中扩散器周边延长到陶瓷结构的部分表面上。
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公开(公告)号:CN1540033B
公开(公告)日:2010-09-01
申请号:CN200410032705.8
申请日:2004-04-13
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 李澔
IPC: C23C16/44
CPC classification number: C23C16/45565 , C23C16/455 , C23C16/45591 , C23C16/5096
Abstract: 本发明公开了一种化学汽相沉积装置,其包括:箱体,具有内部空间以及侧壁;基座,位于箱体内,并支撑玻璃基板;扩散器,将箱体的内部空间分割成上部空间和下部空间;扩散器框架,与扩散器在扩散器周边形成一体;气体注入管,通过扩散器的喷射孔向箱体内注入气体;以及陶瓷结构,设置在箱体和扩散器之间,该陶瓷结构被设置在扩散器框架的上侧上方并向箱体的侧壁延伸。
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公开(公告)号:CN1758124A
公开(公告)日:2006-04-12
申请号:CN200510108073.3
申请日:2005-09-29
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/1368
CPC classification number: H01L29/458 , G02F1/136227 , H01L27/1244 , H01L27/1248
Abstract: 本发明提供了一种钝化层组件以及具有该钝化层组件的显示基板。钝化层组件位于具有薄膜组件的基板上,并且保护薄膜组件。钝化层组件包括第一钝化层和第二钝化层。第一钝化层与薄膜组件接触。第一钝化层具有与蚀刻剂相关的第一蚀刻率。第二钝化层在第一钝化层上。第二钝化层具有与蚀刻剂相关且高于第一蚀刻率的第二蚀刻率。钝化层组件降低显示装置的故障率。
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