公开(公告)号：CN119175023A

公开(公告)日：2024-12-24

申请号：CN202410048338.8

申请日：2024-01-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金现中 ,  崔世彬 ,  吉明峻 ,  金圣协 ,  李宣柱 ,  李铁宰 ,  秦东辉 ,  韩东熙

IPC: B01F33/82 ,  B01F25/314 ,  B01F25/433 ,  C23C16/455 ,  B01F33/80 ,  B01F35/71 ,  B01F23/80 ,  H01L21/67

Abstract: 一种气体混合装置可包括主管道和连接到主管道的气体传输装置。气体传输装置可包括围绕主管道的分配装置、连接到分配装置并限定供应路径的供应管道、以及将分配装置连接到主管道的多个连接管道。分配装置可包括顺序地设置为围绕主管道并且在径向上与主管道顺序地间隔开的内圆柱和外圆柱。分配空间可限定在内圆柱与外圆柱之间，并且供应管道可耦接到外圆柱，使得供应路径连接到分配空间。连接管道可在周向上彼此间隔开。