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公开(公告)号：CN115805376A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202210659205.5
申请日：2022-06-10
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 尹俊浩 , 高荣范 , 李华永 , 慎政槿 , 沈贤洙 , 李光镕 , 李种昊
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , H01L21/78
Abstract: 一种衬底处理装置，包括：卡盘台，该卡盘台包括安装台，该安装台具有安装衬底的安装面，其中安装面为曲面；以及激光供给头，被配置为用激光束照射附着到安装台的衬底。
