公开(公告)号：CN118943041A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202410348471.5

申请日：2024-03-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴柾俊 ,  高钟星 ,  金大容 ,  金东贤 ,  金志洙 ,  金平刚 ,  朴基鸿 ,  朴正濬 ,  朴柱永 ,  朴俊赫 ,  宋镐石 ,  安治昊 ,  李供雨 ,  李现英 ,  郑周泳 ,  黄政闵

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32

Abstract: 提供了腔室内维护设备。所述腔室内维护设备可以包括：载物台模块，包括：载物台主体，在具有中空内部的腔室内；XY载物台，安装在载物台主体的上表面上并且在彼此垂直的X轴和Y轴方向上可移动；以及第一驱动部，被配置为驱动XY载物台；以及夹持器模块，包括：夹持器主体，结合到XY载物台的上表面；夹持部，通过夹持器主体支撑并且被配置为相对于与X轴和Y轴垂直的Z轴上下移动和旋转以插入中空内部；以及第二驱动部，被配置为驱动夹持部。

公开(公告)号：CN117393478A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202310849776.X

申请日：2023-07-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 黄汎修 ,  李供雨 ,  宋明基 ,  李圭尙 ,  崔瑞珠 ,  崔真赫

IPC: H01L21/677

Abstract: 一种晶圆传送设备包括：控制器；晶圆传送机器人，其包括被配置为保持晶圆的手单元、连接到手单元并且被配置为移动晶圆的驱动单元以及设置在驱动单元上的传感器单元；以及多个传送结构，其被配置为与晶圆传送机器人交换晶圆，所述多个传送结构中的每一个包括可由传感器单元识别的多个标记，其中，传感器单元包括识别多个标记的相机传感器以及被配置为通过向多个标记发射激光并接收从多个标记反射的激光来测量到多个标记的距离的激光传感器。