用于光致抗蚀剂的剥离组合物

    公开(公告)号:CN1517802A

    公开(公告)日:2004-08-04

    申请号:CN03100735.X

    申请日:2003-01-16

    Abstract: 本发明涉及用于光致抗蚀剂的TFT-LCD高性能剥离剂组合物,并且更具体地是涉及用于抗蚀剂的剥离剂组合物,包含20%至60%重量的单乙醇胺、15%至50%重量的N,N-二甲基乙酰胺、15%至50%重量的卡必醇以及0.1%至10%重量的没食子酸。本发明还提供了用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物,包含20%至60%重量的单乙醇胺、15%至50%重量的N,N-二甲基乙酰胺、15%至50%重量的卡必醇。本发明的用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物在应用于TFT-LCD生产过程时,显著地降低了剥离时间。而且其因为具有良好的剥离能力也不会留下杂质颗粒,并且因为能够省略硬焙烤和磨光过程,所以能够简化门处理,降低了成本。此外,当其应用在使用银(Ag)作为反射/透射层的过程时,提供了纯银层的耐腐蚀能力和剥离能力。

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