公开(公告)号：CN117912975A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202311145969.3

申请日：2023-09-06

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 任仁范 ,  尹俊盛 ,  李承润 ,  李汀镇 ,  黄燦

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 提供了一种选择用于重叠测量的多波长、以准确地测量重叠的方法，以及使用多波长的重叠测量方法和半导体器件制造方法。选择用于重叠测量的多波长的方法包括：在设置的第一波长范围内的多个波长中的每一个波长，在晶片上的多个位置处测量重叠；从多个波长中选择模拟多个波长的重叠的代表性波长；以及分别向代表性波长分配权重。

公开(公告)号：CN119247699A

公开(公告)日：2025-01-03

申请号：CN202410622273.3

申请日：2024-05-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金岛辉 ,  郭旻哲 ,  尹俊盛 ,  李汀镇 ,  李承润 ,  黄灿

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种优化重叠测量条件的方法，包括：对于多个重叠测量条件中的每个重叠测量条件，测量衬底的多个位置的重叠；对于多个重叠测量条件中的每一个，基于测量的重叠计算关键参数指数(KPI)；对于多个重叠测量条件中的每一个，将KPI转换为基于KPF的关键参数函数(KPF)值，其中，KPF中的每一个具有相同的维度表示；对于多个重叠测量条件中的每一个，整合KPF值以生成整合KPF值；以及基于与多个重叠测量条件中的每一个相关联的整合KPF值，从多个重叠测量条件当中选择优化的重叠测量条件。