-
公开(公告)号：CN116013807A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211258508.2
申请日：2022-10-14
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 气瓶自动化系统可以包括：传送路径，其将带入到气瓶自动化系统中的气瓶中的气体自动地供应到半导体处理线；以及气缸式传感器，其通过沿着传送路径移动来检查传送路径是否异常，其中，气缸式传感器包括：气缸盖，其包括端盖紧固构件和耦合到端盖紧固构件的端盖，并且气缸盖具有第一检测传感器，第一检测传感器设置在端盖紧固构件上以检测施加到端盖的力和力矩中的一个；以及气缸本体，其连接到气缸盖并且具有第二检测传感器，第二检测传感器包括安装在其上的加速度传感器和倾斜度传感器中的至少一个。
Search Results
1
records
(took 0.022 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
