公开(公告)号：CN116813114A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202211609600.9

申请日：2022-12-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 尹钟夏 ,  孙侊远 ,  张智恩 ,  崔友泳 ,  朴恩惠

IPC: C02F9/00 ,  B01D61/58 ,  B01D63/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02 ,  E03B1/02 ,  E03B7/07 ,  E03B11/10 ,  C02F103/04 ,  C02F1/42 ,  C02F1/28 ,  C02F1/44

Abstract: 一种超纯水供应装置，包括：第一过滤设备、第二过滤设备、第一过滤设备与第二过滤设备之间的第一罐、第三过滤设备、第二过滤设备与第三过滤设备之间的第二罐、第四过滤设备、第三过滤设备与第四过滤设备之间的第三罐、以及连接到第一罐至第三罐中的每一个并被配置为供应惰性气体的气体供应设备。第一罐至第三罐中的每一个包括罐体和耦接到罐体并连接到罐体中的储存空间的呼吸阀。第一过滤设备至第四过滤设备中的每一个包括从活性炭过滤设备、离子交换树脂设备、反渗透膜设备和中空纤维膜设备中选择的至少一种。

公开(公告)号：CN116631894A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202211717579.4

申请日：2022-12-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李胤行 ,  孙侊远 ,  张智恩 ,  崔友泳 ,  朴恩惠

IPC: H01L21/67

Abstract: 一种流体供应系统包括被构造为供应第一流体的第一流体源、被构造为供应第二流体的第二流体源、被构造为在所述第一流体与所述第二流体之间进行热交换的热交换器、被构造为回收已经通过所述热交换器的所述第一流体的第一流体回收罐以及被构造为将所述第一流体从所述第一流体源经由所述热交换器输送到所述第一流体回收罐的第一输送管。所述热交换器可以设置在比所述第一流体回收罐的竖直高度高的竖直高度处。