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发明公开
光学测量设备审中-公开

公开(公告)号：CN119470263A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202410927519.8

申请日：2024-07-11

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 姜周延 , 金起德 , 金洸秀 , 金郁来 , 孙在锡 , 李恩周 , 黄淳弘

IPC: G01N21/01 , G01N21/17 , G01N21/3563 , H01L21/67

Abstract: 一种光学测量设备包括：第一光发射器，被配置为将第一光发射到样品的表面上；第二光发射器，被配置为将第二光发射到其上入射有第一光的样品的表面上；物理性质检测器，被配置为：通过检测由于样品的表面上的第一光的光热效应引起的第二光的光量的改变，获得样品的物理性质信息；以及至少一个结构检测器，被配置为：通过检测从样品的表面反射的第一光和第二光中的至少一个的反射光，获得样品的结构信息。

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