发明授权
- 专利标题： Modular atomic force microscope with environmental controls
- 专利标题（中）： 模块化原子力显微镜与环境控制
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申请号： US14817517申请日： 2015-08-04
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公开(公告)号： US09581616B2公开(公告)日： 2017-02-28
- 发明人: Mario Viani , Roger Proksch , Maarten Rutgers , Jason Cleveland , Jim Hodgson
- 申请人： Oxford Instruments Asylum Research, Inc.
- 申请人地址： US CA Goleta
- 专利权人： Oxford Instruments Asylum Research, Inc
- 当前专利权人： Oxford Instruments Asylum Research, Inc
- 当前专利权人地址： US CA Goleta
- 代理机构： Law Office of Scott C Harris, Inc
- 主分类号： G01Q30/20
- IPC分类号： G01Q30/20 ; G01Q30/18 ; G01Q10/00 ; G01Q30/10 ; G01Q30/12
摘要：
A modular Atomic Force Microscope that allows ultra-high resolution imaging and measurements in a wide variety of environmental conditions is described. The instrument permits such imaging and measurements in environments ranging from ambient to liquid or gas or extremely high or extremely low temperatures.
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