发明授权
- 专利标题： Single crystal silicon on chrysoberyl
- 专利标题（中）： 单晶硅在CHRYSOBERYL上
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申请号： US3475209D申请日： 1967-01-05
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公开(公告)号： US3475209A公开(公告)日： 1969-10-28
- 发明人: MANASEVIT HAROLD M
- 申请人： NORTH AMERICAN ROCKWELL
- 专利权人： North American Rockwell Corp
- 当前专利权人： North American Rockwell Corp
- 优先权： US60743767 1967-01-05
- 主分类号： C30B23/00
- IPC分类号： C30B23/00 ; H01L21/205 ; C23C13/04 ; C09D5/24
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