- 专利标题： SYSTEMS AND METHODS OF CLAMP COMPENSATION
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申请号： US18747216申请日： 2024-06-18
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公开(公告)号： US20240339286A1公开(公告)日： 2024-10-10
- 发明人: Edwin Verschueren , Paul Tacx
- 申请人： FEI Company
- 申请人地址： US OR Hillsboro
- 专利权人： FEI Company
- 当前专利权人： FEI Company
- 当前专利权人地址： US OR Hillsboro
- 分案原申请号： US16685897 2019.11.15
- 主分类号： H01J37/02
- IPC分类号： H01J37/02 ; H01J37/28
摘要：
A positioning system, can include a control unit including a shear signal generator that can generate a modified shear element drive signal. The modified shear element drive signal can include an initial shear element drive signal and a compensation signal.
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