- 专利标题： Wafer-scale testing of photonic integrated circuits using horizontal spot-size converters
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申请号： US15903586申请日： 2018-02-23
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公开(公告)号： US10535571B1公开(公告)日： 2020-01-14
- 发明人: Diedrik Vermeulen , Long Chen , Christopher Doerr
- 申请人： Acacia Communications, Inc.
- 申请人地址： US MA Maynard
- 专利权人： Acacia Communications, Inc.
- 当前专利权人： Acacia Communications, Inc.
- 当前专利权人地址： US MA Maynard
- 代理商 Joseph D'Angelo
- 主分类号： G02B6/12
- IPC分类号： G02B6/12 ; H01L21/66 ; G02B6/122 ; G02B6/30 ; G01M11/00 ; G02B6/34
摘要：
Disclosed herein are methods, structures, and devices for wafer scale testing of photonic integrated circuits.
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