实用新型
CN2788352Y 晶片定位装置 失效 - 权利终止

晶片定位装置
摘要:
本实用新型公开了一种晶片定位装置,属于半导体器件制造领域。所述的晶片定位装置由主控制器(1),电机控制电路板(2),电机驱动电路板(3),波形过滤电路板(5),光幕传感器(6),编码信号反馈装置(7)组成。通过主控制器(1)的人机对话界面输入参数值控制编码电机的运行模式和启停;编码电机(4)反馈的编码信号经过编码信号反馈装置(7)传送至电机控制电路板(2),电机控制电路板(2)经过分析比较后将信号传送至电机驱动电路板(3),最终驱动编码电机(4)带动晶片旋转。同时通过光幕传感器(6)检测晶片边缘的波形变化,由波形过滤电路板(5)过滤后传送至电机控制电路板(2),最终返回给主控制器(1)检测到晶片的缺口位置。
0/0